中古 NIKON NSR i7 #9226166 を販売中

ニコンNSR i7は、フォトリソグラフィ用途向けに設計された高性能リソグラフィ装置です。高度な機能とオーバーレイ精度で極めて精密なパターンを生成できるウェーハステッパーです。NSR i7は5つの光学モジュールを使用しており、それぞれに絶縁光源、レンズ、精密ステージがあり、高密度回路のパターニングに優れた高解像度イメージング機能を提供します。また、多くの薄膜パターニング技術を組み合わせ、複雑なデザインと3D機能を1つのステップで作成します。NIKON NSR i7は、ポジティブイメージング、ネガティブイメージング、電子ビームリソグラフィ、ダイレクトライティング、ディープUV露光など、幅広いリソグラフィ技術を使用するように設計されています。このマシンは、CDの直線性を向上させた高精度のスクライブラインプロファイルを生成することができる高度なスキャナ設計を採用しています。また、精密なレーザーアライメント機能も備えており、0。1 μ m以内の精度でパターンを迅速に整列させることができます。このツールは、ユーザー端末、露光ステーション、クリーニングステーション、高次アライメント、画像データ処理ユニットなど、幅広い作業処理ユニットと統合されています。NSR i7には、迅速かつシンプルなデバイス最適化を可能にする高度な検査および測定機能が搭載されています。また、デバイスの歩留まりを向上させるための自動プロセスフィルタ制御も備えています。NIKON NSR i7にはATHENAソフトウェアスイートが搭載されており、欠陥の検出、分析、可視化のためのツールが内蔵されています。このソフトウェアパッケージは、ユーザーが統合されたプロセスのパフォーマンスを最大化できるように設計されています。それはまた速く、容易なモデル操作およびプログラミングのための大画面およびタッチパネルを特色にします。NSR i7には拡張可能な3レベルのステージ設計があり、ウェーハのロードとアンロードのためのユーザーフレンドリーなステップと、さまざまなウェーハ処理システムの統合を提供します。ウェーハステージは、より広い範囲のウェーハサイズをサポートするために調整可能な真空装置で設計されています。ウェーハカセットは、ウェーハを最高の精度と速度で正しい位置にロードします。ニコンNSR i7は、超高スループットにより、デバイスの歩留まり、生産性、コスト削減を向上させます。システムの直感的なユーザーインターフェイスと高解像度イメージング機能により、NSR i7ユニットを使用した製品が最高品質の基準を満たすことができます。