中古 NIKON NSR i12D #293609816 を販売中

NIKON NSR i12Dは、高度な半導体製造プロセスで使用される汎用性の高いウェーハステッパーです。高精度で生産性に優れ、次世代デバイスの製造ニーズに適しています。このi12Dには、最大12インチのウェーハサイズと、超高出力レーザー源によって生成される2つのコヒーレントスキャンレーザービームが装備されています。これにより、0.1µmまでの非常に正確なアライメント精度と最大0.08µmの分解能を提供します。複数のフィールドサイズを同時に露出し、最終的にサブミクロン構造を実現することができます。この機能は、製造時間を最小限に抑え、半導体パターニングプロセス中の補正量を最小限に抑えるために使用されます。i12Dはまた容易な維持のための取り外し可能なレーザーの頭部、またオペレータの効率を改善する自動整列および焦点の調節機能を特色にします。さらに、統合されたリソグラフィーソフトウェアにより、効率的なパターン制御と結果の評価が可能になります。さらに、フットプリントを低減し、周囲の環境を保護するために、低い振動フレームで設計されています。NSR i12Dは、標準レンズと非標準レンズを含むさまざまな電源をサポートしながら、交互注文露光（AO）とスタンドアロン露光の両方を提供できる柔軟なプラットフォームです。また、薄膜トランジスタ装置に対応する薄膜コーティングにも対応しています。パワー面では、i12Dには露光プロセス中に多軸制御を可能にする高度な9軸制御システムが装備されています。これにより、すべての露光処理において正確で再現性のあるパフォーマンスが促進されます。さらに、エンベデッドパターン補正ソフトウェアにより、解像度とフィーチャーサイズの精度が向上します。全体として、NIKON NSR i12Dは、高度な半導体プロセスに最適なウェーハステッパーです。その特徴は、次世代のデバイス製造に適しており、製造メーカーは生産時間を短縮し、歩留まりを向上させることができます。