中古 NIKON NSR i12 #293745419 を販売中

NIKON NSR i12は、幅広い半導体デバイスに対応するために設計された汎用性の高い費用対効果の高いウェーハステッパーです。ウェーハステッパーは、高度なサブステージ光学機器と統合されたオートアラインテクノロジーを組み込み、デバイス基板の迅速かつ正確なアライメントを可能にします。NSR i12には統合システムと2軸スキャナタイプステージが搭載されており、基板やデバイスの精密運転、スキャン、アライメントが可能です。また、フォーカス、画像位置、バイアス電圧などのプロセスコントロール機能も備えており、デバイス基板の正確で均一なパターニングが可能です。ウェーハステッパーは、さまざまなフォトマスクをサポートするように設計されており、さまざまなデバイス設計に対応する柔軟性を提供します。NIKON NSR i12には照明装置が改良されており、より細かい機能とより良い解像度を生成することができます。Advanced Mirror Detection Tool （AMDS）により、各デバイスパターンに最適なアライメントと最適な露出が適用されます。このステッパーは、調整可能なスキャン速度、可変用量、およびCL回転などのさまざまな露出設定にも対応しています。さらに、NSR i12は、自動ゼロ化アセット、高安定温度制御、新しいUI操作によるスループット向上などの高度な機能も備えています。NIKON NSR i12は、低k誘電体、ミックスドシグナル、SOI、 MEMSデバイスなど、複数のデバイスに対応しています。内蔵の検査カメラにより、高解像度の画像キャプチャと加工デバイスのレビューが可能です。このステッパーは、4インチから200mmまでの幅広いウエハサイズの処理が可能で、ほとんどのデバイス製造に適しています。NSR i12ウェーハステッパーは信頼性が高く、タイトな生産スケジュールで精度を維持するように設計されています。高速精密スキャンとアライメントにより、再現性のある高解像度デバイスパターンを実現します。また、最新のモーションコントロール機能をサポートし、最高のパフォーマンスを提供します。この機器はまた、優れた拡張性と長寿命を提供します。