中古 NIKON NSR i11D #293807381 を販売中

NIKON i11は、高いパフォーマンスとスループットを実現するために設計された信頼性と効率の高いウェーハステッパーです。このステッパーには、i-lineと呼ばれる独自の長寿命の深紫外線供給源が装備されています。このラインは、250nmから最大394nmまでの非常に安定した放射線を供給し、高い電力安定性は± 3％です。ニコンI 11には、エッチング前に欠陥を検出・管理することで最適な画質を保証する真空・欠陥検査装置が搭載されています。また、高解像度のアライメントシステムを備えているため、各ステージで頻繁に画像を再配置する必要がありません。ステッパーは、さまざまな生産要件のためのいくつかの露出モードを提供しています。I11は6。3m x 4。1mのコンパクトなフットプリントを備えており、ほとんどのファブ環境に適しています。このステッパーを使用すると、ウェーハを最大8インチまで加工することができ、生産能力の向上に役立ちます。さらに、スループットを向上させるために、一度に最大57個のウェーハを処理できます。I 11はまた、ウェーハ間のバリエーションが存在しても高精度を維持しながら、最適な層カバレッジを可能にする精密な反射防止コーティングユニットを備えています。これにより、すべての層が均等に覆われ、影や欠陥の形成がなくなります。サブミクロン形状制御精度で3D/bump構造を作り出すことができます。最後に、NIKON i11には、精密なレイヤーバイレイプロセス制御を可能にする統合プロセスコントロールマシンが搭載されています。このステッパーは、高速で先進的なXYZステージとともに、± 1。5 μ mのオーバーレイ精度を達成することができます。また、ウェーハ処理データの管理を容易にする包括的なデータ管理ツールを備えています。