中古 NIKON NSR i11D #293615304 を販売中

ニコンNSR i11Dは、最も要求の厳しいリソグラフィ要件のために設計された精密ウェーハステッパーです。このi11Dは、最先端のイメージングおよびアライメント精度技術を活用して、ウェーハの製造、高度なパッケージング、MEMS、 TSV、および3D印刷アプリケーションに最適なソリューションです。このデバイスには、最新のNIKONリソグラフィ装置が装備されています。特許取得済みのシングルインパルスビームスキャンシステムを搭載し、優れたイメージング性能を実現し、デバイスの歩留まりを向上させます。NIKON Pro- Lith™ソフトウェアは、ユーザーフレンドリーなインターフェイスと強力なオートメーション機能を提供し、複数のウエハにわたって明確で一貫したパターンを保証します。i11Dには、高度なイメージングユニットとアライメントユニットもあります。ハイダイナミックレンジのイメージングマシンと特許取得済みのローカルグリッドアライメント（LGA）プロセスを使用して、最大± 2マイクロメートルのシームレスなアライメント精度を提供します。この技術により、センサの位置を確実に調整し、高度なパッケージングおよびMEMS技術に最高のイメージング精度を提供します。i11Dの高度なパターニングアセットには、最高のイメージング精度を保証する超精密ビーム制御機能も備わっています。ビーム電流、フォーカス、スライス設定を正確に調整して、希望のパターン解像度を最適化できます。さらに、柔軟な基板回転と傾き補正モデルを備えており、複数のウエハにわたって高いレベルの均一性と精度を提供します。NSR i11Dは、最高のイメージングとアライメント精度を必要とする要求の厳しいリソグラフィ用途向けに設計されています。高度なイメージングおよびアライメントシステム、優れたイメージング性能、高度な制御機能により、ウェーハの製造、高度なパッケージング、MEMS、 TSV、および3D印刷アプリケーションに最適なソリューションです。