中古 NIKON NSR i10 #9237557 を販売中

NIKON NSR i10は、最高の精度とスループットを念頭に設計された完全自動ウェーハステッパーです。レンズベースのイメージング技術を活用して、処理中のウェーハの画像を素早く正確に生成します。NSR i10は、このような高度な自動化を設計に組み込むことで、従来のステッピングシステムを上回るスループットと精度を実現しています。NIKON NSR i10のベースユニットは、150mmのステーショナリーステージ、x-y-zの高さ調整、複数のレンズと工具の能力に対応できるタレットスピンドルで構成されています。これは、6軸移動用ロボットで補完されており、基板処理のさまざまな段階を迅速に実行することができます。また、コンフィギュレーション可能なフィールドレンズアレイを備えたオン軸テレセントリックイルミネータとコンピュータ制御シャッターで構成される高度な光学システムも含まれています。これらの機能は、照明の変動を最小限に抑え、正確で明確な画像を提供します。NSR i10には、高精度カラーフィルターなどの多数のイメージング機能が搭載されており、画像のシャープネスが向上し、欠陥を強調するのに役立ちます。また、電動ショット・ツー・ショット・フォーカス制御も備えており、より高速で正確な光学測定が可能です。さらに、ライトオンデマンド露出ユニットも用意されており、ユーザーはさまざまな製品およびプロセス要件に対応するために露出時間を即座に調整することができます。性能面では、NIKON NSR i10マシンは、最大100％のダイ収率と0。2マイクロメートルまでの特長サイズを生産することができ、プロトタイプと生産レベルの微細加工プロセスの両方に適しています。さらに、NIKONパターン検証ソフトウェアとも互換性があり、生成された画像が望ましい仕様基準を満たしているかどうかを迅速に判断できます。全体として、NSR i10は微細加工業界向けの強力で機能豊富なツールであり、迅速かつ正確なウェーハ処理が可能です。NIKON NSR i10は、堅牢なイメージング機能と制御機能、高性能対策を備え、さまざまな微細加工アプリケーションに適しています。