中古 NIKON NSR i10 #293634217 を販売中

NIKON NSR i10は、最先端のリソグラフィープロセスで使用するために設計された最先端のウェーハステッパーです。NSR i10は、卓越したオーバーレイ精度を実現しながら、高いスループットと解像度で優れた性能を提供します。ユニットは、高信頼性、非接触、気密、真空チャンバーで構築され、生産や研究開発に最適です。NIKON NSR i10は、3軸モータ駆動装置を搭載しており、3軸すべてで高精度なモーション制御が可能です。デュアル400kHzアンプにより、高速で同期的な高速スキャンと高速な位置決めが可能です。さらに、ステッパーには、リアルタイムフォーカスモニタリングやオートフォーカス最適化などの多くの高度な機能が含まれており、一貫したパフォーマンスと優れたオーバーレイ精度を実現します。さらに、コンパクトインターフェースシステム（CIS）フォームを備えており、自動構成と簡単なセットアップが可能です。ステッパーは、オーバーレイ評価用の顕微鏡を搭載し、異常検知用の統合イメージングユニットを備えています。高度な光学構成は、0。25ミクロンの最小空中画像解像度を提供します。さらに、高度な照明装置は、様々な照明源を使用することができ、回折効果を最小限に抑えるために非常に均一な数次の暗いフィールド散乱パターンを備えています。NSR i10には、高度なアライメント手順も合理化されており、計測ターゲットが利用できない場合でも正確なグレーティングアライメントが保証されます。高精度のモーションコントロールはすべてのコンポーネントに拡張され、レチクル、レジスト、フォトマスクの正確なアライメントが可能です。さらに、ステッパーにはプログラミングのための十分な機能が含まれており、複雑なロジック操作とユーザー定義のスクリプトがあり、より広いツールへの統合が可能です。コンパクトで軽量なニコンNSR i10は、スペースに制約のあるエリアに最適なソリューションです。気密ハウジングと強力な制御を組み合わせることで、NSR i10は最も過酷な環境条件に対応できます。堅牢な性能、高精度、汎用性の高い機能の組み合わせにより、このウェーハステッパーはほとんどの生産アプリケーションに最適です。