中古 NIKON NSR i10 #293606912 を販売中
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NIKON NSR i10は、ナノメートルスケーリング範囲における半導体デバイスの高精度な製造用に設計された精密ウェーハステッパーです。NSR i10には、最適なアライメントと露出精度を提供するさまざまな高度な機能が搭載されています。高解像度のイメージング光学機器は、より短い波長のイメージングシステムに比べてより良い解像度を達成するのに役立ちます。高度な電気光学複合イメージングアーキテクチャは、超高解像度と非常に精密なイメージングを実現するために使用されます。このシステムは、さまざまなウェーハ基板と互換性があり、信頼性の高いスループットと優れた性能を提供します。NIKON NSR i10は、高度な精密アライメントユニットも備えています。アクティブアライメントセンサーは、ステッパーの微細な動きを測定し、ウェハ全体のサブミクロンのアライメントと均一性を保証します。このアライメントマシンは、従来の方法よりもはるかに正確で、より良い製品歩留まりとより高い歩留まり精度を提供します。NSR i10には、フォトマスクの迅速かつエラーのないロードを可能にする完全に自動化されたマスクローディングツールもあります。それにさまざまな適用のための異なった波長の異なった光源の有効な利用のためのモジュール光源があります。高精度のオートフォーカス資産を使用して、イメージングモデルの精度を維持します。また、NIKON NSR i10は高効率な空調設備を備えています。このシステムは、最適な温度範囲と湿度レベルを維持し、光学ユニットを安定化することにより、高品質のイメージングを提供します。NSR i10の堅牢で信頼性の高いアーキテクチャは、極端な条件下でもマシンが動作することを保証します。NIKON NSR i10は、半導体デバイスの精密なスケールでの製造を目的として設計された先進的なウェーハステッパーです。アクティブなアライメントマシン、自動マスクローディングシステム、モジュラー光源を備えています。さらに、空調ツールは最適な温度と湿度レベルを確保し、イメージング性能を向上させます。
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