中古 NIKON NSR i #293609515 を販売中

NIKON NSR iは、集積回路とMEMS基板の生産スループットを向上させるために設計された完全自動ウェーハステッパーです。優れたウエハハンドリング装置を提供し、高解像度の光学イメージングシステムを備えています。NSR iは、クラス最高のウェーハ転送技術を提供し、優れたコプランリティ性能を提供します。このユニットは、1つのパスで最大6インチのウェーハをスキャンすることができます。これにより、周囲で最速のステップの1つになります。また、24mm、 200mmの光学分野までの広範囲の露光フィールドを提供しています。NIKON NSR iには、さまざまな要件に合わせて簡単にカスタマイズできる高度なイメージングマシンが含まれています。最大0。075umの解像度を提供し、アナログとデジタルの両方のフォーマットで利用できます。このツールは、高速ロックインスキャンなどの高度な機能を利用しており、複雑な相互接続をイメージングすることもできます。NSR iは、25秒未満で最大12個のウェーハをロードおよびステージングできる、非常に高速なウェーハローディングおよびステージングアセットを提供します。このモデルには、ステッパー内のウェーハの正確な位置決めを保証する自動ウェーハ処理装置が含まれており、敏感な表面の傷の可能性を低減します。NIKON NSR iは、NIKON InspectorやMetrology Systemsなどの他のNIKONシステムや、サードパーティの試験および測定機器と容易に統合できます。このシームレスな統合により、品質管理が向上し、生産スループットが向上します。NSR iは、最高の効率を確保するために、レンズ内のフォーカスドリフトを検出して補正できる高出力オートフォーカス方式を提供しています。これにより、すべてのスキャンが最高の精度と品質でイメージされるようになります。NIKON NSR iは、品質、効率、スループットのすべてを対象としています。これは、プロセスのすべての段階で優れた性能を必要とするMEMSファブリケーターを中心に、大量のウェーハ製造セットアップに最適です。