中古 NIKON NSR G7 #9226167 を販売中

NIKON NSR G7は、集積回路の製造に使用される最先端のウェーハステッパー（ステッピングリソグラフィ装置）です。最先端のプロジェクションイメージングシステムを搭載し、最大15millionの分解能をウェーハ基板に投影することができます。4nmのハイエンド分解能、5nmまでのステレオリソグラフィ測定、1時間あたり最大800ウェーハの高速スキャン、0。2 μ m以内のナノ位置決め精度を備えています。NSR G7の制御ユニットには、2次元光学スキャナ、可変倍率の投影機、およびNIKONパターンジェネレータ（NPG）が含まれています。光学式スキャナは、従来のシステムの10倍の画像処理速度で信頼性の高い画像処理を可能にします。投影ツールは、クリティカルな寸法（CD）制御のための高精度を備えており、ニコン独自の可変倍率アセット（VMS）技術を備えています。VMSを使用すると、さまざまなプロセスに最適な倍率を選択できます。NPGは、より小さなパターンのための優れた再現性と正確なパターンを生成します。NIKON NSR G7は、ミラーレス自動アライメント、高機能パターンジェネレータ、プロセス制御ソフトウェアなど、NIKONの高度なプロセスを活用して、さらなる製造能力を強化しています。ミラーレス自動アライメントにより、リファレンスマークとの手動アライメントが不要になります。この機能により、同じウエハ上で高密度設計をより迅速に作成できます。NPGパターンジェネレータは、高度なノードリソグラフィープロセスでパターンを生成するための大きな柔軟性を提供し、最大40％の生産性を向上させます。プロセス最適化タスクの時間を短縮するために、プロセス制御ソフトウェアは、プログラムを書くことなくプロセスを自動的に調整し、最適化することができます。NSR G7には、ウェーハ間のアライメントのための高度なモデルアーキテクチャが搭載されており、大型スキャン分野では1 μ mの配置精度が可能です。その結果、高いスループット、優れたスループットの均一性、広い視野でのオーバーレイ精度を提供します。この装置はまた、処理のためのウェーハの数千を確保し、高効率を促進する徹底したオートチャッキングシステムを備えています。全体として、NIKON NSR G7は、高精度、高解像度、および信頼性の高い1台のマシンで豊富な機能を備えた高度なリソグラフィーユニットです。最先端のファブリケーターからバルク生産量まで、さまざまな製造プロセスに最適です。