中古 NIKON NSR G6D #293652746 を販売中

NIKON NSR G6Dは、半導体・フォトマスク材料の高解像度微細構造を実現する高度なウェハステッパーです。この装置は、半導体材料の微小な回路などの構造物の製造を高信頼性かつ費用対効果の高い方法でサポートする幅広い機能を提供します。G6Dは、9軸ステージ構造と超精密な100 mnmステージxリピータビリティを備えています。これにより、ステージ全体で作業フィールドを非常に正確に移動させることができ、より大きなレベルのパターンのオーバーレイ精度を可能にします。これにより、基板上に高精度なパターンを生成することができます。さらに、2つの独立したステッパーを使用して、動作中に完全な精度とアライメントを保証するユニークなデュアルアライメントユニットが採用されています。さらにNSR G6Dは、ユーザーが自分のマシンの容量を最大化することができる高度なソフトウェア機能の範囲を備えています。これには、パターンスタッキング、リーザーインターロック、マークアライメントなどの機能が含まれます。また、ユーザーが頻繁に使用するパターンを保存して素早くアクセスできる埋め込みライブラリや、実際に印刷される前にレイヤー上のパターンをシミュレーションするパターンシミュレーションモードも含まれています。優れた性能に加えて、G6Dは熱管理の改善や自動シャットダウン機能など、さまざまな安全機能を提供しています。これにより、オペレータの安全な作業環境とツールの稼働時間の向上が保証されます。ステッパーには、デジタル整列アセットと統合された高解像度イメージングモデルが付属しており、幅広い材料から基板を正確かつ信頼性の高い処理が可能です。全体として、NIKON NSR G6Dは、半導体およびフォトマスク材料加工用の非常に信頼性が高く、正確なウェハステッパー装置です。正確で正確なステージモーション、優れたパターンオーバーレイ精度、大容量パターンスタッキング、安全な操作と稼働時間の向上を保証するさまざまな機能を提供します。さらに、自動シャットダウン機能と熱管理の向上により、オペレータの安全な作業環境が確保されます。