中古 NIKON NSR G3A #9194239 を販売中

ニコンNSR G3A（ウェーハステッパー）は、研究室やウェーハ加工用に開発された高度なリソグラフィ装置です。高度な技術を活用して、フォトマスクやレチクルをウェーハ上に自動的に配置して露出させ、IC（集積回路）の生成に使用します。NSR G3Aには、パターンをレチクルからウェーハ平面に直接転送するためのステッパーがあります。高解像度のレーザー光学ヘッドを搭載しており、スキャンサイズをサブミクロンレベルまで低減するとともに、マスクからウェーハへのアライメントと安定した受信のためのステージトラッキングセンサーを備えた高精度、高速ステージシステムを備えています。さらに、パターンの縮小倍率を調整する画像縮小機を搭載しています。このツールは、正確なアライメントと高速露出のための超高速ワンステップムーブメントを採用しています。さらに、シンプルなスタンバイコマンドにより、アセットはいつでも起動でき、2分以内に最後の露出位置から再開できます。また、NIKON NSR G3Aでは、全自動アライメントおよびパッテン解析にKLA2Dな画像処理モデルを使用しています。装置は、複数の露出シーケンスからウェーハエッジとオーバーレイのアライメントパターンを自動的に認識し、正確な露出サイズを確認します。NSR G3Aの高度な設計により、低コヒーレンス照明システムは、1ミクロン以下の幅で絶縁された関連構造をパターン化することができます。さらに、プロセス制御ソフトウェアにより、校正テストを実行し、露出プログラムを作成および編集することができます。また、モーター式マスクレベリングステージも装備しており、フォーカスを変えずに素早く乱視を調整します。結論として、ニコンNSR G3Aは、研究室やウェーハ製造に最適な選択肢です。高リゾリューションのレーザー光学ヘッド、モーターを備えたマスクレベリングステージ、シンプルなスタンバイコマンドが組み合わさり、ウェーハに正確かつ正確なパターンを配置できる効率的なリソグラフィーマシンを提供します。その結果、このツールは集積回路を作成するための優れた選択肢です。