中古 NIKON NSR G3A #293652738 を販売中

NIKON NSR G3Aは、半導体ウェーハ上で非常に複雑なパターンを生成できる次世代の高精度ウェーハステッパーです。このウェーハステッパーは、高度な光学機器を備えており、大量生産の最高の要求を満たすように設計されています。NSR G3Aは、最大248nmの解像度でパターンを生成することができます。NIKON NSR G3Aは、1時間あたり最大1400個のウェーハを露出することができ、最大直径200mmの標準6〜8インチウェーハを受け入れることができます。NSR G3Aには、2つの独立したガルバノミラーを搭載したスキャンシステムがあり、それぞれ0。5nmの解像度を提供します。各ガルバノミラーには、パターンの鮮明な画像を提供するために、高rアリティアクロマティックレンズと調整可能な絞りが装備されています。NIKON NSR G3Aは、絶縁定数の変動による歪みを補正することで、ミラー画像を自動的に調整する独自の画像補正ユニットを備えています。NSR G3Aには、線幅200nmのパターンを生成できる高度なリソグラフィ装置があります。ウェハステッパーは、最大4層の銅、金、アルミニウムでシリコンウェハを露出することができます。NIKON NSR G3Aは、最高速度100mm/secの0.5µm （500nm）程度の微細な動きが可能な高精度ステージを備えています。NSR G3Aには、直感的でユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）も装備されているため、マシンのプログラムと制御が簡単です。メニューは直感的で操作が簡単で、パターンデータのカスタマイズが可能な使いやすい機能メニューです。NIKON NSR G3Aは、ビームの動きと露出を常に監視し、エラーや損傷を防ぐ信頼性の高いビーム監視ツールを備えています。NSR G3Aは、高品質な生産を確保するために、その性能を常に監視し、生産におけるあらゆる問題を検出できる徹底的な診断資産を備えています。NIKON NSR G3Aは、温度を調整し、機械の効率的な冷却を保証する高強度の冷却モデルによって駆動されます。NSR G3Aには、きれいでほこりのない露出を保証する選択可能な空気/パージ装置もあります。NIKON NSR G3Aは、高精度なリソグラフィが可能な先進的なウェハステッパーで、大量生産に最適です。独自の光学系、画像補正ユニット、高精度ステージにより、信頼性と精度の高い半導体製造に最適です。