中古 NIKON NSR FX-601F #9255391 を販売中

NIKON NSR FX-601F
ID: 9255391
ヴィンテージ: 1998
Stepper Gen 2 (370 mm x 470 mm) Gen 3 (550 mm x 650 mm) LCD panels Resolution: ≦ 2.4 µm (Isolated pattern), ≦ 3 µm (L/S) Projection magnification: 1: 1.25 x Exposure field 120 mm square to 98.78 (H) × 138 (V) mm (≦ ø 169.71 mm) Reticle size, 6" Holds: ~(50) Reticles Overlay: ≦ 0.5 µm (EGA, |M| + 3σ) Throughput: (30) Shots, 65 sec (40 mJ/cm²) 1998 vintage.
NIKON NSR FX-601Fは、半導体業界の厳しい要求を満たすように設計された高性能ウェーハステッパーです。このFX-601Fは、最先端の機能認識、精度アライメント、およびプロセス制御を提供します。独自のハイブリッド駆動装置を備えており、直径8インチまでの基板に対応し、大場露出または小場露出に対応しながら、高度なマルチフィールドステッチおよびステッチ最適化を提供します。FX-601Fのハイブリッドドライブシステムは、ダイレクトドライブとギアドライブのリニアモーションを組み合わせたもので、高信頼性の大型基板の高速転送が可能です。また、FX-601Fにはエアベアリングユニットを採用し、全面的な伸びと熱膨張を低減し、さまざまな環境にわたってより一貫した性能を発揮します。この特徴認識技術により、FX-601Fはより小型で複雑な基板を扱うことができます。FX-601Fは、高度なマルチフィールドステッチ操作を備えています。これにより、マシンに組み込まれた最適化ソフトウェアを使用して高解像度のステッチを行うことができます。この最適化により、必要な精度を達成するために必要なフィールド、トラック、オーバーラップの数を最小限に抑え、ユーザー入力を最小限に抑えることで最大の効率を提供します。FX-601Fはまた、ユニークで高度な機能認識ツールを備えています。この資産は、高い精度で特徴を正確に識別して登録することができ、最も複雑なパターンでも高い歩留まり率をもたらします。FX-601Fのハイエンド光学系は、優れた画質と高精度の両方を保証します。FX-601Fには、高速オートフォーカスモデルと、簡単なサンプル移動のための電動ステージも含まれています。FX-601Fには、生産性をさらに向上させ、可能な限り最高のパフォーマンス要件を確実に満たすための標準ツールが含まれています。このFX-601Fは、高度な機能により、ダウンタイムを削減し、品質を向上させ、高い歩留まりを確保するように設計されています。NIKON NSR FX 601 Fは、半導体製造の厳しい要件を満たすように設計された先進的なウェーハステッパーです。ハイブリッド駆動装置、特徴認識、マルチフィールドステッチ機能を備えたこのFX-601Fは、さまざまな基板の信頼性と強力なツールです。その先進的な光学系、オートフォーカスシステム、および電動ステージは、生産スループットを最大化し、精密なサンプル移動を可能にし、優れた画質を保証します。FX-601Fは、最適な性能と信頼性を提供する半導体製造に最適なツールです。
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