中古 NIKON NSR 609B #293587904 を販売中

NIKON NSR 609B
製造業者
NIKON
モデル
NSR 609B
ID: 293587904
Scanner.
ニコンNSR 609Bは、優れた精度と再現性を提供するように設計された精密ウェーハステッパーです。このデバイスは、産業用グレードの光学システムを組み込んだ最先端の設計を利用しており、ユーザーはさまざまな倍率で信じられないほど明確な画像を提供します。超滑らかで信頼性の高い電動ステージを搭載したステッパーで、より速く正確なウェーハの位置決めを可能にします。また、高速スキャンシステムを使用して、必要な画像を並外れた精度でキャプチャします。NSR 609Bは8。9-18。9 μ mのスキャン範囲で動作し、0。5 μ mまでの優れた線幅と分解能の精度を保証します。直径2〜200mm、厚さ0。2mmまでの幅広いウエハーや基板に対応しており、1台のデバイスで幅広い微細加工が可能です。また、照明適応機能により、ホワイトライトから紫外線まで、光源の種類に関係なく高精度なイメージングが可能です。露出に関しては、ニコンNSR 609Bは最も正確な結果を提供するように設計されています。このモデルにはデュアルビームプリアライメントシステムが装備されており、ステッパーは、前例のない精度で各露出の始点と終点を見つけて測定することができます。これにより、わずか5ミリ秒の露出時間が可能になり、偏差を最小限に抑えた高速で信頼性の高い露出が得られ、非常に滑らかなパターンが保証されます。NSR 609Bには、データ処理用のユーザーフレンドリーなソフトウェアパッケージが含まれています。また、自動再現性、シングルステップ露光、複合パターン露光など、幅広い操作機能を提供します。最後に、このステッパーは簡単なメンテナンスのために構築されており、ユーザーは機械を分解したり部品を移動したりすることなく、すばやく取り外すことができます。ニコンNSR 609Bは、さまざまな機能を備え、精密ウェーハ加工に最適なツールです。
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