中古 NIKON NSR-504 #9269128 を販売中

NIKON NSR-504は、フォトマスク製造用に特別に設計されたウェーハステッパーで、10xレチキュールに精密で信頼性の高いリソグラフィ露光を提供し、さまざまな露光アプリケーションに大量生産と柔軟性を提供します。特許取得済みの「パルスフィールド露光装置」と高速レーザー露光システムにより、他のウェハステッパーよりも技術的に優れています。NSR-504は、1つのカセットで最大2つのフルフィールドレチクルを同時に処理できます。NIKON NSR-504は、高速データ転送と組み合わせることで、大量生産に最適なソリューションです。NSR-504はまた、水晶レンズやビームスプリッタの高密度配列を含むレーザー技術の最新のものを取り入れています。NIKON NSR-504には露出監視ユニットが内蔵されています。独自の設計によりフレアを低減し、露光中の迷光を排除します。洗練されたアルゴリズムを使用して露出線量を分析し、正確な結果を保証します。NSR-504はユーザーフレンドリーで直感的です。ソフトウェアは容易なイメージの整列および円滑な操作を可能にするように設計されています。NIKONでは、アライメントやウェーハ転送システムなど、さまざまなシステム間のシームレスな通信を実現するための統合および自動化ソフトウェアを提供しています。NIKON NSR-504は、光学フォルト検出、MEMS、 FPCBマスクなど、さまざまなフォトマスクアプリケーションを実行するように設計されています。最大200nmの露出精度で、最大8インチ（200mm）のウェーハ加工が可能です。優れた結果を得るために、NSR-504はまた、正確なアライメントのための電動ステージとオートフォーカス機が装備されています。また、NIKON NSR-504は様々なレジストを使用することができます。その自動レジスト選択機能のおかげで、ユーザーはすぐに自分のアプリケーションに最適なレジストを選択することができます。このツールはまた、残留物を最小限に抑え、リソグラフィ関連の欠陥を防ぐように設計されています。全体として、NSR-504は非常に信頼性が高く、ユーザーフレンドリーなウェーハステッパーであり、フォトマスク生産に最適です。高速ウェハトランスファー、高度な露出制御、自動化されたレジスト選択を備えているため、10xレチキュールの高度な選択や、高精度と精度を必要とするアプリケーションに最適です。