中古 NIKON NSR 4425i #9044476 を販売中
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NIKON NSR 4425iは、リソグラフィで使用される次世代のi-lineステッパーです。NIKON NSRシリーズのシステムの一部であり、集積回路、ディスプレイ装置、光学部品、フォトマスクなどを製造するために特別に設計されています。NIKON NSR-4425Iは、電子ビームを用いてナノメートル分解能でウェーハをパターン化するウェーハステッパーです。NSR 4425 Iは、優れたウェーハステップ性能のための多くの技術を備えています。高出力レンズアクチュエータとビームステージを搭載し、焦点の正確な制御を可能にします。パルス効果を最小限に抑えながら、ナノメートルの精度で正確なパターン配置を実現します。さらに、NIKON NSR 4425 Iは、統合されたアライメント装置を通じて高精度のアライメント精度を提供します。ステッパーはまた、高度なプロセス制御技術を備えています。このシステムは、パターニング中のすべてのステップを測定および評価するために特殊な検出器ユニットを採用しています。これにより、パターンの明瞭さのエラーを防ぎ、すべてのウェーハが可能な限り正確に処理されるようにします。スループットを向上させるため、NSR 4425iは高性能の制御シャッターを提供します。この機能は、選択的に選択した領域を一発で露出させるオプションを提供し、露出時間とエラーのリスクを大幅に削減します。さらに、高感度マルチビームアライメントマシンは、レチクル上の非パターン領域を低減し、基板上の精度と大きなパターンの両方をマークすることをはるかに容易にすることができます。さらに、このツールは並外れた柔軟性のために設計されています。高性能モータと高度な光学系は、ハイエンドとローエンドの両方のリソグラフィープロセスに適しています。また、超精密回転子は微細なフォーカス調整をサポートし、小型チップから大型ウェハまで、さまざまな基板に対応できます。最後に、NSR-4425Iは、前任者よりも高い精度とスループットで高精度、高解像度のウェーハを製造することができるウェーハステッパーです。高度な光学、モーションコントロール、プロセス制御機能により、生産性と歩留まりの向上により、高品質のリソグラフィ結果を達成できます。
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