中古 NIKON NSR 4425i #293606712 を販売中

ID: 293606712
Stepper Resolution: 0.7 NA: 0.3 Exposure wave length: i-Line Reduction: 1/2.5 Expose field: 44 x 44.
NIKON NSR 4425iは、半導体製造に使用される最先端のウェーハステッパーです。大型光学系と大型冷間放射銃(FEG)電子源を独自に装備し、大型基板の加工が可能です。NIKON NSR-4425Iの光学機器は、高品質の対物レンズ、照明器、ビーム分割システムで構成され、ビームを2つの光路に分割します。対物レンズは基板内の高解像度スキャンを可能にし、照明器具は基板全体で均一なビーム強度を生成します。ビーム分割ユニットは、ビームを2つの光路に分割し、基板の2つの異なる位置を同時にイメージングすることができます。これにより、製造時のスループットが向上し、基板の均一性が向上します。NSR 4425 IのFEG電子源は、従来の電界放出源よりも高エネルギーの電子を提供し、基板をより高速かつ高精度に処理することができます。さらに、FEGソースはノイズレベルを低減し、電子パルス幅を短くすることができます。NSR-4425Iは機械のリモート・ローカル操作そして管理を両方提供する広範囲の制御機械が装備されています。多角形、ライン、カーブなどの形状レイアウトや、いくつかのパターンシフトやオーバーレイ制御操作に対応しています。さらに、ユーザーは、他の電子源を使用してシステムの最大20倍の処理速度を選択することができます。要約すると、NIKON NSR 4425 Iは、最も要求の厳しい半導体製造プロセス向けに設計された先進的なウェーハステッパーです。高解像度の光学ツールと電子パワーの向上と包括的な制御アセットを組み合わせることで、より高速なスループットと基板処理の優れた結果を提供します。
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