中古 NIKON NSR 4425i #293604875 を販売中

NIKON NSR 4425iは、高精度、高スループット、および費用対効果の高いレチクル検査および計測を提供する次世代ウェーハステッパーです。最先端のこのツールは、業界をリードするイメージング機能と比類のない環境性能を兼ね備えているため、最先端のICリソグラフィ処理から最も要求の厳しい機能サイズのアプリケーションまで、すべてを処理できます。NIKON NSR-4425Iの核となるのは、同社独自のDRY技術です。これにより、ユーザーは業界をリードする歪みとフォーカス補正により、最適なイメージング性能を実現し、スキャン領域での光学的収差を低減できます。このユニットは、224,000ステッピングフィールドポジションを設定することができ、8µmの設計規則のために最大3〜0.25µmの解像度が得られます。NSR 4425 Iは、優れた光学性能とイメージング性能に加えて、セットアップ時間の短縮、基板のスループットの向上、ウェーハとマスクの資格取得のためのステップ数の削減も実現しています。ウェーハの温度や湿度の制御、低振動メカニズム、低粒子振動フィルタなど、堅牢な環境性能を発揮します。また、NIKON NSR 4425 Iは、自動および手動の機能解析、マージおよびステッチ、および2D、 3D、およびインライン機能の自動リソグラフィ検査など、さまざまな計測機能を提供します。また、データマイニング、ルールチェック、その他の高度な解析機能を提供し、迅速かつ正確な欠陥検出とプロセス認定を可能にします。NSR 4425iはオペレータの安全を念頭に置いて設計されており、緊急停止ボタン、ウェーハやマスクを安心して検査できる安全カバー、粒子をチェックするための低い散乱レーザーユニットを備えています。さらに、このユニットにはプロセス制御が内蔵されているため、ユーザーは簡単にリソグラフィープロセスを調整し、計測操作を監視して可能な限り最良の結果を得ることができます。結論として、NSR-4425Iは高精度、高精度、および性能を提供する高度なウェーハステッパーです。DRY技術、環境制御、計測機能、安全機能により、半導体リソグラフィおよび検査アプリケーションに最適なツールです。