中古 NIKON NSR-2205EX12C #9137681 を販売中

NIKON NSR-2205EX12Cは最先端のウェーハステッパーです。ステッパーは、洗練されたアルゴリズム駆動設計を備えており、個々のウエハーまたは基板パネルの正確かつ再現性の高い露出を可能にします。これは、幅広いフォトリソグラフィーのニーズに対応する高スループットとコスト削減のソリューションを提供します。NSR-2205EX12Cの中核は、従来のウェーハステッパーよりも幅広い露光範囲を提供する高度なデジタルイルミネーションテクノロジー（DIT）デジタルイメージングシステムを使用した次世代露光装置です。さらに、独自のトラックマシンを内蔵しており、各ウェーハと基板パネルの位置をツールを通過する際に追跡し、露出精度を高め、生産エラーを大幅に低減します。このアセットには高精度のCCDカメラベースのアライメントモデルが組み込まれており、露出後のアライメントプロセス中に1。5ミクロンの精度レベルを確保できます。このカメラは、各ウェーハまたは基板パネルの露光ポイントをキャプチャし、その結果を使用して、露光プロセス中に発生する可能性のあるずれを正確に補正します。また、高精度のSCHOTTプレートアライナーを搭載し、0。45ミクロンの露出前アライメント精度を実現し、露出前に基板パネルを正確に中央に配置します。NIKON NSR-2205EX12Cでは、エッジ全体の露出を正確に制御できるDigital Edge Compensation （DEC）システムや、各基板パネルのレジスト厚を正確に制御できるDR （Digital Resining）ユニットなど、厚さのばらつきを最小限に抑えるためのさまざまなシステムも提供しています。さらに、高度なVertical Development Method （VDF）も含まれており、露出後のベーク・ツー・ベーク開発プロセスをより一貫して提供します。最後に、NSR-2205EX12Cは、最大NA 0。85で、焦点、倍率、および数値開口調整オプションの広い範囲を提供することができる高度な光学レンズマシンを備えており、最小の機能でも正確に露出することができます。全体として、NIKON NSR-2205EX12Cは高度なウェーハステッパーであり、フォトリソグラフィーアプリケーションに費用対効果の高い高スループットソリューションを提供します。