中古 NIKON NSR 2205 i9C #293820530 を販売中

NIKON NSR 2205 i9Cは、高精度の半導体リソグラフィ用途向けに設計された最先端のウェーハステッパーです。この先進的な装置には、数多くの革新的な機能と技術が組み込まれており、優れた精度と信頼性を備えた複雑なパターニング機能を提供します。NIKON NSR-2205I9Cの性能の中心は、リソグラフィ工程の解像度と重要な寸法制御を定義する上で重要な役割を果たしている最先端の投影レンズシステムです。専用の1。35倍レンズを採用し、最大0。43の数値絞りを実現し、次世代半導体デバイスに不可欠な超微細なフィーチャーサイズとタイトなオーバーレイ公差を実現しています。さらに、NSR 2205 i9Cは、精密なウェーハ位置決めとパターン登録を保証する高度なアライメントと補正機を誇っています。このツールには、高度なアライメントセンサーと補正アルゴリズムが組み込まれており、ウェーハまたはステージのずれを補正し、正確なパターン配置とウェーハ表面全体のタイトなフィールドオーバーレイ制御を保証します。スループットの面では、NSR-2205I9Cは高い生産性のために設計されており、サイクルタイムを最小限に抑えた単一の露光フィールドで複数のウェーハを処理することができます。これは、高度なステージダイナミクス、高速レチクル交換メカニズム、およびアセットの稼働時間とスループット性能をまとめて最適化する効率的なウェーハハンドリングシステムを組み合わせて実現します。NIKON NSR 2205 i9Cは、高度な制御および監視機能を備えた包括的なスイートを備えており、最適なモデル性能とプロセスの安定性を確保します。これには、フォーカス、アライメント、露出線量などの主要なリソグラフィーパラメータのリアルタイム監視と、指定された許容範囲内でプロセス制御を維持するために装置設定を自動的に調整する統合フィードバック制御ループが含まれます。また、バイナリマスク、位相シフトマスク、各種レチクル、ウエハサイズなど、幅広いパターニングオプションに対応した汎用性の高いレチクル、基板ハンドリングシステムをNSR-2205I9Cしています。この柔軟性により、多様なリソグラフィ要件に対応し、進化するテクノロジーノードやデバイス設計に適応できます。NSR 2205 i9Cは、ソフトウェアの観点から、機械操作、レシピ作成、データ分析のための直感的なユーザーインターフェイスを提供する高度なリソグラフィ制御ソフトウェアを搭載しています。ソフトウェアスイートには、プロセスの最適化、パターンの忠実度の向上、迅速な技術開発を支援する高度なモデリングおよびシミュレーションツールも含まれています。全体として、NSR-2205I9Cは高度な光学系、精密アライメント、高スループット、包括的な制御機能を組み合わせることで、半導体業界の要求の厳しいリソグラフィ要件を満たしています。NIKON NSR 2205 i9Cは、最先端の機能と性能を備え、イノベーションを推進し、これまでにない高精度で効率的な次世代半導体デバイスの生産を可能にします。