中古 NIKON NSR 2205 i8 #9248501 を販売中

NIKON NSR 2205 i8ウェーハステッパーは、8インチウェーハ専用に設計された多機能リソグラフィ装置です。このシステムは完全に自動化されており、さまざまな光学リソグラフィ用途に使用できます。最先端の2 ×ズームレンズ、デュアル6位置光学設定、新開発のi-lineソースを搭載しています。NSR 2205 i8 Wafer Stepperは、0。5マイクロメートルの解像度で5マイクロメートルのシリコンウェーハ上のパターンを正確に再現することができます。高度なアライメント精度とアニーリング時間の短縮により、サイクル時間を最小限に抑え、ウェーハの歩留まりを低減します。マスクアライメントユニットとオンボードアクチュエータを装備しており、リソグラフィ中にマスクをウエハの中央に正確に配置することができます。NIKON NSR 2205 i8にはスキャンヘッドと完全に統合されたソフトウェアが搭載されており、ユーザーはリソグラフィを正確に制御し、繰り返し可能な性能を維持することができます。このマシンは、2つのフラッシュ露出プロセスを使用して、1つの露出で顕微鏡とメゾの両方の特徴をイメージすることができます。また、Tape-to-Tape、 CoreComplete、 Maestroなどの一般的なリソグラフィ設計システムとの互換性も提供しています。NSR 2205 i8には、リニアとオフラインの2つの異なるスキャンモードがあります。リニアモードはイメージを直接ウェーハにレンダリングし、オフラインモードはイメージを中間基板にレンダリングし、ウェーハに転送します。また、高解像度イメージングのための6Xと12Xの2つの異なる光学設定を備えています。このツールは、レビューステーション、スペクトルスキャン、オートフォーカスなどの高度な計測機能を提供します。さらに、アライメント検証アセット、自動ウェハマッピング、アライメントチェッククランプなどのオプション機能を装備できます。全体として、NIKON NSR 2205 i8ウェーハステッパーは、8インチウェーハ専用に設計されたインテリジェントな多機能リソグラフィーモデルです。パターン精度とスループットの点で優れた結果を提供し、ハイエンドのリソグラフィ用途に最適です。