中古 NIKON NSR 2205 i14E2 #9293862 を販売中

NIKON NSR 2205 i14E2は、半導体などのフォトリソグラフィ用途での大量生産に使用するために設計された、高性能の高度なウェーハステッパーです。本装置は、最大47。5mmのイメージフィールドサイズで200mmまでの露出フィールドを備えています。高解像度・高速リニアステージ、高精度コートを装備し、基板の均一かつ正確な露出ステージを露出します。NIKON NSR-2205I14E2は、5インチのディスプレイサイズと2軸オートフォーカスを備えた明るくハイコントラストのHD液晶モニターを備えており、露光プロセスの各段階の正確なアライメントと独立したフォーカス設定が可能です。NSR-2205 I14E2は4種類のニコンオプション光源と同期し、より正確な露光を実現します。光源強度制御システムにより、異なる光源を切り替えて最適な露光結果を得ることができます。さらに、複数のマスクを正確に配置するために、AADS （Auto Align Alignment Unit）を使用した高精度のオーバーレイアライメントプロセスをサポートします。NSR 2205 i14E2は、露光プロセスを完全に最適化するために、イメージングレンズ、還元マスク、環状反射器、およびペリクル薄膜などの多数の光学ソリューションを備えています。DUM-FやDASなどの多くの自動マーキングシステムと互換性があり、正確なウェハの向きとフォトマスクのアライメントが可能です。このフォトマスクは、マスクパターンの正確性を確認するためのスクリプトファイル検査プロセスでも使用できます。NSR-2205I14E2は、視覚的に魅力的で、ユーザーフレンドリーで直感的なデザインを備えており、簡単な操作とメンテナンスを可能にします。露出状態をリアルタイムで表示するための統合モニタと、外部データストレージ用の2つのUSBポートを備えています。高度なNIKON SCM （Software Control Module）を搭載し、幅広い機能と機能を提供し、画質を安定させます。また、環境保全のために排気工具やレーザー反射器などの安全機能も搭載しています。