中古 NIKON NSR 2205 i14E2 #9217458 を販売中
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販売された
ID: 9217458
ウェーハサイズ: 8"
Stepper, 8"
Notched Si wafer, 8"
Reticle, 6"
Inline with TEL ACT8
Chamber temperature: 23º C
Field size: 22" x 22"
Lamp power: 2.5 kW
Resolution: 0.35 μm
Altitude pressure: 995 mbar
Rack position: Right
Computer: NIKON NEST-α
In‐line track: Left side
Pre‐alignment orientation
Wafer carrier model
Wafer type: Notch
Wafer loader model: WL3 / Left in‐line
Wafer carrier table: Left & right
Reticle case type: NIKON Normal
(3) Reticle libraries
NCPR2
BCR
Multiple points auto focus
Chip (Table) leveling
FIA
LSA
Pellicle particle detector
On‐line interface
On‐line hardware: HSMS
MCSV 3.46A
OCSV 3.45P
Shrinc 4
Facility specifications: 208 V, 50 Hz, 3 Phase
Does not includes:
Down transformer
Europe safety & CE
LIA
Signal tower
Upgraded:
NEST Alpha console
Chamber FREON R407C.
NIKON NSR 2205 i14E2は、イメージング製品のリーディングカンパニーであるNIKONが設計・製造した最先端のウェーハステッパーです。このステッパーは、チップメーカーが生産レベルの精度でデバイスを生産することを可能にする、リソグラフィープロセスのための非常に効率的で信頼性の高いツールです。ウェーハステッパーは、レーザーやミラーなどの光源からウェーハに光をパターン化することでウェーハ上の特徴を生み出します。これは通常、半導体製造または研究開発に使用されます。NIKON NSR-2205I14E2ウェーハステッパーは、堅牢な性能と柔軟性により、パターンを正確かつ正確にウェーハに配置するための洗練された選択肢です。13。5ナノメートルの焦点深度と13。8ナノメートルの全面焦点深度を提供し、ウェーハ全体で高い露出精度と均一性を実現します。4インチワイドプロジェクションレンズを搭載し、大規模なウェーハパターンでも幅広い露出範囲を提供します。さらに、さまざまなアプリケーションや露光要件に対応しています。NSR-2205 I14E2ウェーハステッパーは、高精度のアライメント装置、インラインマッピングシステム、一定の速度と複数の露出、自動アライメント調整など、一連の高度なオプションと機能を提供します。ハイレベルな統合と自動化のために、ニコンレーザーおよびエッチャーシリーズアクセサリーで完全に自動化できます。これにより、各ウェハが生産環境で正確に露出できるようになります。さらに、直感的なユーザーインターフェースを備え、ウェーハ露出ユニットを簡単かつ正確に制御できます。これは、プロセスの精度と効率を向上させるために、さまざまな組み込み機能を持っています。露光時間と照明はソフトウェアで制御することもでき、露光プロセスを正確に制御することができます。結論として、NIKON NSR-2205 I14E2ウェーハステッパーは、チップメーカー向けの精密ソリューションです。正確なアライメントマシン、高い露出精度、数多くの自動機能により、イメージングとアライメントの精度に優れた性能を発揮します。高い精度とスピードが求められる生産環境に最適です。
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