中古 NIKON NSR 2205 i14E2 #9217458 を販売中

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ID: 9217458
ウェーハサイズ: 8"
Stepper, 8" Notched Si wafer, 8" Reticle, 6" Inline with TEL ACT8 Chamber temperature: 23º C Field size: 22" x 22" Lamp power: 2.5 kW Resolution: 0.35 μm Altitude pressure: 995 mbar Rack position: Right Computer: NIKON NEST-α In‐line track: Left side Pre‐alignment orientation Wafer carrier model Wafer type: Notch Wafer loader model: WL3 / Left in‐line Wafer carrier table: Left & right Reticle case type: NIKON Normal (3) Reticle libraries NCPR2 BCR Multiple points auto focus Chip (Table) leveling FIA LSA Pellicle particle detector On‐line interface On‐line hardware: HSMS MCSV 3.46A OCSV 3.45P Shrinc 4 Facility specifications: 208 V, 50 Hz, 3 Phase Does not includes: Down transformer Europe safety & CE LIA Signal tower Upgraded: NEST Alpha console Chamber FREON R407C.
NIKON NSR 2205 i14E2は、イメージング製品のリーディングカンパニーであるNIKONが設計・製造した最先端のウェーハステッパーです。このステッパーは、チップメーカーが生産レベルの精度でデバイスを生産することを可能にする、リソグラフィープロセスのための非常に効率的で信頼性の高いツールです。ウェーハステッパーは、レーザーやミラーなどの光源からウェーハに光をパターン化することでウェーハ上の特徴を生み出します。これは通常、半導体製造または研究開発に使用されます。NIKON NSR-2205I14E2ウェーハステッパーは、堅牢な性能と柔軟性により、パターンを正確かつ正確にウェーハに配置するための洗練された選択肢です。13。5ナノメートルの焦点深度と13。8ナノメートルの全面焦点深度を提供し、ウェーハ全体で高い露出精度と均一性を実現します。4インチワイドプロジェクションレンズを搭載し、大規模なウェーハパターンでも幅広い露出範囲を提供します。さらに、さまざまなアプリケーションや露光要件に対応しています。NSR-2205 I14E2ウェーハステッパーは、高精度のアライメント装置、インラインマッピングシステム、一定の速度と複数の露出、自動アライメント調整など、一連の高度なオプションと機能を提供します。ハイレベルな統合と自動化のために、ニコンレーザーおよびエッチャーシリーズアクセサリーで完全に自動化できます。これにより、各ウェハが生産環境で正確に露出できるようになります。さらに、直感的なユーザーインターフェースを備え、ウェーハ露出ユニットを簡単かつ正確に制御できます。これは、プロセスの精度と効率を向上させるために、さまざまな組み込み機能を持っています。露光時間と照明はソフトウェアで制御することもでき、露光プロセスを正確に制御することができます。結論として、NIKON NSR-2205 I14E2ウェーハステッパーは、チップメーカー向けの精密ソリューションです。正確なアライメントマシン、高い露出精度、数多くの自動機能により、イメージングとアライメントの精度に優れた性能を発揮します。高い精度とスピードが求められる生産環境に最適です。
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