中古 NIKON NSR 2205 i14E2 #9210465 を販売中

NIKON NSR 2205 i14E2は、大容量デバイス製造プロセスにおいて高精度で信頼性の高い性能を提供するために設計された最先端のウェーハステッパーです。この装置は、これまでにないレベルの解像度、優れた性能、およびリソグラフィおよび繰り返しイメージングアプリケーションの両方に対応する汎用性の高い機能を提供します。NIKON NSR-2205I14E2は、最適なデバイス製造性能を確保するための幅広い機能を提供しています。過剰エッチングやドライエッチングなどの高度なプロセスに対応する強力なNSR-iF2リソグラフィーシステムを搭載しています。このユニットには、2次元および3次元のアライメント精度を提供する高度なイメージングエンジンが装備されています。また、垂直シフトメカニズムや高精度レーザーオートレベルマシンなど、フォトマスクやウェーハの正確な位置決めを実現するさまざまな先進技術を備えています。このツールは、± 1nmの精度でデバイスを製造することができ、広域デバイス全体でも均一な画像を提供します。アモルファスシリコン、結晶シリコン、ゲルマニウム、ヒ素ガリウムなど、さまざまな言語や基質と互換性があるように設計されています。この資産は、最大10,000 mm²までの大面積デバイスを処理することができます。これにより、基板層への深度の浸透を可能にし、プロセス収束のためのより高い柔軟性を提供します。また、オートフォーカス装置を搭載しており、焦点位置を素早く簡単に調整し、露出ごとに優れた画質を確保しています。このシステムは、プロセス設定、ウェーハ情報、およびユニット診断用の専用メニューを備えた直感的なユーザーインターフェイスで設計されています。光学および基板アライメントシステムのリアルタイム監視と制御を備えた完全な機械制御を提供します。ユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、ユーザーはパラメーターを簡単に変更したり、露出パラメータを変更したり、複数のレシピを保存したりすることができます。NSR-2205 I14E2は、さまざまな生産環境で優れた信頼性と精度を提供する印象的な工業グレードの設計を誇っています。湿度と振動保護ツールが統合されており、環境変化による資産パフォーマンスへの影響を低減します。また、メンテナンス性が低く、校正が容易で、高精度の瞬時校正装置とトラブルのない操作のための自己診断機能を備えています。NSR 2205I 14E2は、高性能で信頼性の高い正確なウェーハステッパーであり、最も要求の厳しいデバイス製造プロセスで比類のないパフォーマンスを提供します。