中古 NIKON NSR 2205 i14E2 #293817939 を販売中

ニコンNSR 1125 i14E2ウェーハステッパーは、VLSI、フラットパネルディスプレイ、およびMEMSアプリケーションに適した、クロムレス、反射防止コーティング（ARC）耐性、高度なウェーハステッパーです。直径6インチの大きなパターンエリアを備え、15nmまでの高い画像オーバーレイ精度をサポートします。NSR 1125 i14E2は、1時間あたり最大120万枚のウェーハ、5ミクロンの高いパターン幾何学的精度、最大70 x 70 mmのフィールドサイズを実現し、中量生産に優れたコスト効率と生産性を提供します。さらに、サブミクロンアライメントシステムは、多くの生産要件に革新的なソリューションを提供します。NIKON NSR 1125 i14E2ウェーハステッパーには、操作を簡素化し、パターンアライメントの精度を向上させるフルフィールド照準装置が含まれています。超高精度0。1mmの登録精度を特長とし、画像情報に基づいて極めて小さな粒子欠陥を検出することができます。Auto Pattern Matching、 Auto Top Exposure Level、 Auto Zoomなどのシステム機能により、プロセスの柔軟性が向上し、生産性が向上します。また、レンズの変形やパターン歪みを最小限に抑える低応力リニアターゲティング法や、光学ユニットに液体ヘリウムを混合することで光学的誤差をなくす低振動スターリング法を搭載しています。NIKON NSR 1125 i14E2ウェーハステッパーは、真空、高温、各種ガス露出条件に耐えるように設計されており、真空技術、マーキング、乾燥などの多くの生産要件に適しています。さらに、ウェハスクラップ率を大幅に低減し、オーバーレイ精度を向上させるデュアルガントリーステージ設計を採用しています。高度なウエハハンドリングツールにより、ウエハムーブメントを最小限に抑えながら、バッチ生産性を向上させます。さらに、強制空冷による環境制御資産により、有害な粒子の除去が保証されます。NIKON NSR 1125 i14E2ウェーハステッパーは、NUMDBS、 NIKON独自の光学設計ソフトウェアパッケージによって制御されています。NUMDBSは、デジタルPhotomask （dPM）レイヤーとの照明とパターニング設定とアライメントをすばやく計算します。この強力なソフトウェアは、レイアウトデータを最適化してプロセスパフォーマンスを向上させることもできます。このステッパーのソフトウェアには、自動ビームブランキングや最大限の安全のための動的露出制御など、さまざまな安全機能が組み込まれています。さらに、便利なマスク交換モデルは、スムーズなプロセス変更を可能にします。結論として、NIKON NSR 1125 i14E2 Wafer Stepperは、今日の厳しい半導体生産要件を満たす効果的で費用対効果の高いウェハプロダクションソリューションを提供します。全面照準装置、高画像オーバーレイ精度、環境制御システム、高度なウエハハンドリングユニットなど、信頼性の高い正確なウエハプロダクションソリューションをユーザーに提供するために設計されています。