中古 NIKON NSR 2205 i14E2 #293808906 を販売中

ニコンNSR 2205 i14E2は、ウェーハの高精度・超高速処理を実現する高性能ウェーハステッパーです。14インチの構成により、より大きな部品をイメージしたり、露出したりできるだけでなく、より幅広い機能とオプションを提供します。先進的なイメージオプティクスとステージモーションシステムは、高度なステップアンドリピート± 2。0 µm精密アライメントにより、熱歪みと膨張を最小限に抑え、安定した正確で高速な画像位置決めを提供します。本機はメインレンズと同軸イメージングレンズで構成されています。メインレンズは、画像の歪みを絶えず変化させるために調整し、イメージングレンズは収差を排除し、最適な画質を提供します。また、高効率なモータ制御ツールにより、最大性能の収差を最小限に抑えます。高度なモーター制御アセットにより、高速アライメントとムーブメントのために最大4,000mm/sのウェーハを移動できます。NSR 2205の0。7 13.0µm分解能により、サブミクロンサイズのパターンが確実に露出します。統合モデルには、4レベルのターゲットを正確に検出するためのQuadra Level Sensor （QLS）を搭載した4ウェイスキャン装置も付属しています。さらに、ステッチ精度を向上させる自動露出制御（AEC）と、回転誤差を検出し補正するビーム自動傾斜（BAT）機能を搭載しています。NIKON NSR-2205I14E2はまた、クリーンで正確なウェーハ加工に最適な動作温度を維持するための高度な温度制御ユニットを備えています。高度なミラーセンサーにより、ウェハ表面のリアルタイム監視と補正を可能にし、最高の精度を実現します。また、振動によるウェーハ歪みを最小限に抑え、高精度なウェーハ加工を実現しています。NSR-2205 I14E2は、精度、速度、精度を必要とする生産環境に理想的なステッパーです。14インチ構成と高度な機能により、さまざまなウェーハステッパーアプリケーションに最適なソリューションです。NSR 2205 i14E2は、信頼性の高い画像処理モデル、優れたアライメントと露出精度、および高度な温度制御および振動減衰システムにより、最高レベルのウエハ処理に最適なプラットフォームを提供します。