中古 NIKON NSR 2205 i14E2 #293799874 を販売中

NIKON NSR 2205 i14E2は、半導体産業で使用されるように設計された先進的なウェーハステッパーです。最大0。07 μ mの解像度と、22nmのフルフィールド露光を備えた4,000以上のウエハの超高スループットを提供します。この装置には、高度なイメージング技術と独自のIFEM （Inter-Field Exposure Method）が組み込まれています。これにより、フィールド間のアライメント精度が向上し、歩留まりが向上し、製品の信頼性が向上します。また、NIKON NSR-2205I14E2にはフィールドサーチ（FSE）機構が強化されており、ウェーハのパターン配置ミスを低減します。強力なウェーハステッパーには、安定した環境を提供するために制御された大気チャンバー（CAC）も含まれており、敏感な材料の使用に役立ちます。また、13インチウェーハローディングテーブルと16インチアダプタープレートを備え、正確で信頼性の高いウェーハローディングを実現しています。NSR-2205 I14E2また、パターン配置の精度を高めるレチクルを制御するための高度な機能を提供しています。また、露出精度を向上させる自動化された正確なアライメントシステムも備えています。さらに、このユニットには自動マスク表面検査機が組み込まれており、リソグラフィの欠陥を防ぐのに役立ちます。NSR-2205I14E2には、フロントエンドのツールポートと、外部システムとの統合と接続を可能にする幅広いコンポーネントが含まれています。さらに、このツールには、プロセスの卓越性を高めるための自動欠陥検査ツールが装備されています。最大の稼働時間を確保するため、NSR 2205 i14E2はソフトウェアおよびハードウェア診断、リモート診断サポート、予防保守機能を備えています。また、自動ツールアクセサ制御、画像プロセスパラメータのフルスイート、自動露出制御も装備されています。その結果、この高度なウェーハステッパーは優れた性能、精度、信頼性を提供します。