中古 NIKON NSR 2205 i14E2 #293794192 を販売中

NIKON NSR 2205 i14E2は、任意のサイズの半導体ウェーハを製造するために設計された高解像度フォトリソグラフィーステッパーです。回折限界光学系、大型スキャンレンジ、高い性能と安定性を備えています。このユニットは完全に自動化されており、テンプレート編集、アライメント用のプログラム可能なミクロン単位、高速スループット時間など、さまざまな高度な機能を提供します。この機械には、0。63の数値開口と0。71 μ mの分解能を持つDUV Microfield Exposure Series （MES）光学ツールが含まれており、半導体ウェーハ上にナノメータスケールの構造を作成することができます。光学アセットは、視野全体にわたって均一なパターンを維持し、効率的な収差補正と回折制限のある画質で優れたコントラスト伝達を提供するように設計されています。このモデルには、最新の半導体メーカーのニーズを完全にカバーする10 x 10mmの大きなスキャンレンジも含まれています。装置の高度なベクタースキャン技術は、振動のない安定したステップアンドリピート露光とラインステッチ露光を提供します。さらに、ミクロンのアライメント安定性のためのギャップ補正ユニットにより、長期的なパターンの均一性を実現する高い再現性を提供します。このマシンは、専用のユーザーインターフェイスから、またはオンボードプログラマブルロジックコントローラを介して、さまざまな方法で制御することができます。また、非接触保護や高速シャッター、複数の安全ロック、過熱検出時の自動シャットオフなど、さまざまな安全機能も備えています。NIKON NSR-2205I14E2は、ウェーハのローディング、アンロード、露出を自動化するAPCツールなど、高度な機能により優れたスループットを提供します。さらに、PTI調整により、スキャン中にパラメータ分散を修正でき、テンプレート編集機能により、露出前にパターンを視覚化できます。NSR-2205 I14E2は、高性能半導体の大規模生産に最適なオールインワンステッパーです。その汎用性と強力なツールセットは、再現性と精度のために設計されており、信頼性と汎用性の高いフォトリソグラフィ資産を探しているメーカーにとっては優れた選択肢です。