中古 NIKON NSR 2205 i14E2 #293610268 を販売中

NIKON NSR 2205 i14E2は、超精密、高スループット微細加工用に設計された、高度な193 nm浸漬型マイクロリソグラフィ装置です。最大解像度は14nm、画像フィールドサイズは450mm×450mm、焦点深度は拡張されています。高度なスキャナとレンズシステムを備えており、可能な限り最高のスループットを確保し、レチクルとマスクアライメントの両方に優れた画像処理結果を提供し、シンプルで直感的な制御を実現します。新世代のi-line Coherent High Sensitivity Mode （CHSM）光学系を搭載し、非常に高い光学性能を発揮します。特許取得済みのウェーブフロント適応、ウェーブフロント最適化、偏光機能、およびウェーハ周辺の高精度オーバーレイ測定用の改良された垂直アライメントマシンを備えています。このツールはまた、レチクルの寿命を延ばし、一貫した高解像度のイメージング品質を保証するインライン真空ポスト露出ベークアセットを備えています。NIKON NSR-2205I14E2は、イメージング機能に加えて、フルフィールドオートアライメントやオートキャリブレーション、プリンタパッチング戦略の大幅な改善、高度なエッジ配置調整など、さまざまなオートメーション機能を備えています。また、最大16サイトで同時に画像をウェーハする機能も提供します。このモデルは信頼性と再現性に優れたリソグラフィ装置として設計されており、高収量の微細加工に最適です。最後に、NSR-2205 I14E2はAPCおよびITOxソフトウェアと互換性があり、強力なリソグラフィープロセス制御および管理機能を提供します。NSR 2205I 14E2は、高速スキャン、優れたイメージング結果、幅広いオートメーション機能を備え、高精度ウェーハステッパーアプリケーションに最適です。