中古 NIKON NSR 2205 i14E #9223212 を販売中

ニコンNSR 2205 i14Eは、フォトマスクの製造用に設計された高精度ウエハステッパーです。フォトマスクは、集積回路の製造に使用され、正確な位置決めとアライメントが必要なグラフィックエレメントが含まれています。このステッパーには、2つの独立した光学レンズと、個々のウェーハ分野の高精度な画像処理を可能にするデジタルカメラが装備されています。NIKON NSR-2205I14Eは14インチのウェーハスキャン領域を提供します。デュアルリソグラフィーオプションにより、365nmから248nmまでの交互波長に対応できます。その2つのインポートされたSEM LF ISI aspheresは、均一な解像度と焦点の深さを提供します。高速な画像キャプチャにより、ウェーハフィールド全体を高精度にイメージングでき、新しいコンピュータ支援アルゴリズムによるパターンアライメントエラーを最小限に抑えます。ステッパーのガラスと破片除去システムは、デバイスの劣化と汚染を防ぎます。これにより、デバイスの正確な形成が保証され、コストのかかるウェーハの再処理が防止されます。ステッパーには、フィールドの高さの差を1 µmも減らす特別に設計された機能も含まれており、ステッパーフィールド全体に均一な焦点を当てています。NSR 2205 i14Eは、コストを最小限に抑えながら歩留まりを最大化するように設計されています。柔軟な補正機能とオーバーレイ機能により、対応するコンポーネントシステムに部品を簡単に調整できます。それは長期維持の機能と結合される耐久および信頼できる設計です、重要なサービスか維持なしでこのステッパーが444時間まで作動するようにします。最新の業界標準で設計および製造されたNSR-2205I14Eは、卓越したレベルのウェーハ製造効率を提供します。高度なイメージング機能、高速な画像キャプチャ、堅牢なパフォーマンス、手頃な価格で、あらゆる半導体製造設備に最適です。