中古 NIKON NSR 2205 i12D #9389868 を販売中

ニコンNSR 2205 i12Dは、高精度、高解像度のプロジェクションリソグラフィに使用されるウェハステッパーです。この装置は、交換可能なレンズ、光学部品、露出設定の広い範囲で構成することができ、さまざまなアプリケーションの要求に対応することができます。NIKON NSR-2205I12Dは、高精度の大判12インチ（300mm）マスクレスステップとスキャンステージを採用しています。このステージにより、プロジェクションリソグラフィープロセスで優れた精度と解像度を得ることができます。NSR-2205I 12Dは、使用レンズに応じて、4〜6インチ（100〜150 mm）のウエハーと、36 mm×36 mmのイメージングフィールド、12インチ（300 mm）のウエハーを使用できます。このステッパーは0。75nmの線幅と12nmの解像度を備えており、非常に正確なフィーチャーサイズを可能にします。このシステムには、すべての応用層の高品質なイメージングを提供する、高コントラストの多層干渉ユニットが装備されています。このマシンはまた、化学的に支援された堆積（CAD）アセットを備えた最先端のエアフィルタリングツールのおかげで、迅速な露光時間と低粒子汚染のために設計されています。プロセスの再現性を最大限に高め、微小欠陥を最小限に抑えるために、NIKON NSR-2205 I 12 Dにはアライメントシステムの配列が含まれています。ステッパーは、統合された自動アライメントモデルを使用して、ウェーハジオメトリとサークルオンサークルオーバーレイ機器を迅速にアライメントし、重要なアライメント精度を保証します。NIKON NSR-2205 I12Dは、非常に高精度なリソグラフィを実現できるパワフルで信頼性の高いウェーハステッパーです。このユニットには、さまざまな用途の要求を満たすために必要なすべての部品が装備されているため、大規模および小規模生産に適しています。ニコンNSR 2205 I12 Dは、優れた解像度、高精度、アライメントツールの配列により、ウェーハリソグラフィに最適です。