中古 NIKON NSR 2205 i12D #9300305 を販売中

NIKON NSR 2205 i12Dウェーハステッパーは、12nmゲート長の小型回路を製造するために設計された、最高のリソグラフィーツールです。最先端の12軸ステージを搭載し、最大の位置精度とナノスケールの再現性を実現しています。最大ステージ移動速度は200mm/s、ステージ位置決め精度は6nmです。「高解像度ステージ干渉計」とリソグラフィ用の「インタラクティブレーザーダイオード投影」を組み合わせた独自のレンズレスイメージング技術を搭載しています。この組み合わせにより、より細かいフィーチャーサイズでより正確で正確なイメージングが可能になり、10nmプロセスノードで60ラインおよび空間分解能の精度を達成できます。NIKON NSR-2205I12Dは、高精度、高速スキャンXYステージを採用し、ウェーハ全体で比類のないオーバーレイ精度を実現しています。統合された散乱計の特徴は効果的にウェーハの表面の地形の変化を検出し、非常に低いゆがみおよび欠陥を要求するより高い性能装置を発生させることを可能にします。このシステムは業界をリードする10-kWピークの高反射レーザー照射ユニットを備えており、ウェーハ全体にわたって高速で高精度なイメージングを実現し、最高の生産性と最高のデバイス性能を実現します。スループットを最大化し、業界をリードする均一性を実現するために、ビームは複数のビームに分けることができ、ウェーハ全体で一貫したパフォーマンスを維持します。NSR-2205I 12Dウェーハステッパーには、デバイスのパフォーマンスをさらに向上させ、欠陥を低減するためのアライメントマーカーが統合されており、高度なオートメーションを備えたユーザーフレンドリーなマシンアーキテクチャも備えています。制御ソフトウェアの直感的なグラフィカルスイートは、OPCモデリングと高度なリソグラフィーアプリケーションをサポートします。使いやすさと信頼性の高いパフォーマンスを確保するために、このツールには幅広いプロセスおよび計測保証ツールが付属しています。また、さまざまな構成のいくつかのモデルがあり、異なるサイズと材料のウェーハに適しています。これらの機能に加えて、NSR-2205I12Dウェーハステッパーには、迅速なインストール、トレーニング、サポートなどのさまざまなサービスオプションが付属しています。これにより、比類のない性能と信頼性を実現し、小規模工程の精密リソグラフィー用途に最適です。