中古 NIKON NSR 2205 i12D #9243749 を販売中

NIKON NSR 2205 i12D
ID: 9243749
Stepper Lamp power: >750mW Uniformity: 1.6%.
NIKON NSR 2205 i12Dは、4インチから8インチまでの幅広いウェーハサイズをサポートするために設計された最先端のウェーハステッパーです。コンパクトな空冷設計で、生産環境での運用に適しています。この装置には、CAT、レーザー、光学アライメントなどの複数のアライメントオプションがあります。電動ステージは、高精度のステッピングモータを使用し、統合された位置制御システムを備えています。ステッパーは、1kWの長いアーク投影ランプと高い数値開口iライン光学レンズを利用しています。高忠実度光学と高度なマイクロステッピング技術により、優れた焦点均一性と高回折効率を実現します。この光学ユニットは、深紫色から赤外線まで幅広い波長で動作し、さまざまなフォトリソグラフィープロセスに容易に適応できます。このマシンは、最も複雑なウェーハ設計をサポートするために、0。3umから0。1umまでの範囲の解像度に合わせて調整することができます。ステッパーはまた、異なるウエハ基板の正確かつ迅速なチャッキングを可能にするスマートチャッキングをサポートし、効率的なプロセス制御と歩留まり管理機能を提供します。NIKON NSR-2205I12Dは、さまざまな安全機能とユーザーフレンドリーな操作オプションも備えています。これには、アセットの開始と停止時にウェーハを穏やかに処理する補償リードスクリューツールが含まれます。一連の環境センサにより、ステッパーをさまざまな温度で動作させることができますが、内蔵のウェーハアライメントモデルにより、高い精度と再現性が保証されます。オーバーヘッドキャリアは機器の操作とメンテナンスを容易にし、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスはユーザーとシステム間の直接接続を提供します。NSR-2205I 12Dは、高度なイメージングソフトウェアと組み合わせて、明るく安定した光源で高品質の画像を作成することもできます。さらに、ステッパーは信頼性が高く、費用対効果が高く、生産に優れたスループットを提供します。
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