中古 NIKON NSR 2205 i12D #9243243 を販売中

NIKON NSR 2205 i12D
ID: 9243243
Stepper Lamp power: 650~700 Uniformity: Less than 2%.
NIKON NSR 2205 i12D Wafer Stepperは、コスト効率が高く、信頼性が高く、スマートなリソグラフィ技術を提供するために設計された高度な半導体リソグラフィーツールです。ステップスキャンと多波長の照明機能を利用して、さまざまなアプリケーションで優れた解像度と優れた性能を実現します。迅速かつ正確な生産のために設計されたNIKON NSR-2205I12Dは、直感的なインターフェースと最適化されたワークフローを備えた完全に自動化されたインライン機器を備えています。ステッパーは、12インチのフォトリソグラフィーステッパーを備えており、露光時間が短いため、全体的なパターン精度と再現性が最も高くなります。さらに、ステッパーは、最大スループットを実現する高度なウェーハローダーと輸送システムを備えており、20ウェーハの全負荷に対してクラス最高の18秒の生産サイクルを提供します。NSR-2205I 12Dはまた優秀な決断および均等性を提供します。ステッパーは20 nmの高解像度で、スキャンステップサイズは5〜20 µm、非均一率は0。2%です。また、平均0。2nm RMSの優れたラインエッジ粗さを提供します。NSR 2205 i12Dは、優れたプロセス制御機能も備えています。埋め込まれたインダイのターゲット値とモニタリング機能を備えているため、プロセス性能の急速な変更と継続的な再処理機能を可能にします。また、スキャナーベースと組み込みアライメント、レーザーエンコーダ、低ボラティリティ開発者、電子プローブマイクロ分析システムなど、バランスの取れたオプションを提供し、プロセスを合理化します。NSR 2205 I12 Dは、過酷な動作環境での耐久性に優れた設計です。信頼性の高いリソグラフィーユニットを備えた堅牢なチャンバー設計で、最小寿命は15,000時間です。また、正確な再現性を保証する周波数制御機を備えています。NIKON NSR 2205 I 12 Dは、24時間365日対応のカスタマーサービスを提供しています。また、ユーザー固有の生産ニーズに合わせて幅広いオプションを提供します。NIKON NSR 2205 I12 Dは、高度な機能、洗練されたデザイン、優れたカスタマーサービスにより、半導体用途において費用対効果が高く信頼性の高い選択肢です。優れたパフォーマンス、コスト削減、スループットの向上、全体的な高品質イメージを実現します。
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