中古 NIKON NSR 2205 i12D #9238335 を販売中
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ID: 9238335
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
Steppers, 8"
Lamp power: About 500 mW
Uniformity: 3.6%
NA Variable system: 0.63 δ
Reticle size, 6"
Fixed reticle microscope
Maximum field size: 22 x 22 mm
Reticle SMIF
Extender library: Left to right
Reticle case, 6"
Wafer type: Notch
Wafer chuck, 8"
Wafer chuck type: Ring
Pre alignment 2: Notch, 8"
Pre alignment 2: Hammer, 6"
Wafer loader: Type 3
Chip leveling
In-line: Left
Wafer carrier table: Left / Right
Alignment sensor: FIA (No wafer alignment assist microscope / LSA)
Rack type: Normal
Body-OP rack cable: 3m (Normal)
No wafer edge exposure
SHRINC: Type 1, 2, 3
No signal tower
No power meter / Test reticles (A,DIS,C,CD,MF)
No reticle cases
No remote controller
Chamber: ASAHI
Chamber temperature: 23.0°C
Hard disk drive (HDD)
Electric source with NEMA box 2-Lines for CVCF / UPS
1997 vintage.
ニコンNSR 2205 i12Dは、高度なデバイスメーカーのニーズに応えるために設計された高性能スキャンおよび露出装置です。NSRシリーズの最新モデルは、高精度なアライメントと再現性の高い露出を可能にするように設計されています。NIKON NSR-2205I12Dは、新たに設計された光学システムと組み込みのASML®モーターとエンコーダインターフェースを活用し、高い反復性能と比類のないスループットを提供します。NSR-2205I 12Dは、直径12インチまでのウェーハを露出することができ、NA （Numerical Aperture）は0。6であり、±0.5µmの解像度とショット・ツー・ショットの再現性が向上しています。精度と信頼性を高めるために、ユニットは最大の均一性のために歪み、光収差、レンズフレアを排除する段付き生徒と回折制限数値レンズマシンを使用しています。さらに、高度なアクティブアライメントツールは、0。25マイクロメートルの精度で最大295,000のアライメントポイントを実行し、完璧なデバイスのアライメントを提供します。また、NIKONが特許取得した「バスタブ」制御モデルを活用して、レンズ温度、膜厚、パターン精度など様々な要素を制御しています。NSR 2205 i12Dのその他の機能には、オートフォーカス機能、オートキャリブレーション、ハイコントラストモニターがあり、ウェーハの検査とアライメント時に見やすくなります。優れたパフォーマンスを提供することに加えて、NSR-2205I12Dはまた、露出とアライメントのオプションの広い範囲の中から簡単に選択することができます堅牢なユーザーインターフェイスを装備しています。また、パーティクルエラーやフォーカスバリエーションなど、機器で簡単に補正および調整できる一般的なエラーのセットで設計されています。これらの機能はすべて、ニコンのNSR-2205I 12D、精度と高速スループットを要求するデバイスメーカーにとって理想的な選択肢です。その卓越した性能とユーザーフレンドリーなインターフェースは、このウェーハステッパーを市場で最高のものにします。
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