中古 NIKON NSR 2205 i12D #9225157 を販売中
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ID: 9225157
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
Stepper, 8"
Electric source: Nema box, i-line
Chamber type: ASAHI N2E-A
Reticle size, 6"
NIKON Reticle library: 10-Slot
Fixed reticle microscope
Maximum field size: 22 mm
PPD
Reticle bar code reader
Reticle case, 6"
Wafer size, 8" Semi
Wafer type: Flat zone
Wafer chuck, 8"
Pre-alignment 2: 8"
Wafer loader: Type2 (A3)
Chip leveling
No in-line
Wafer carrier table: Left / Right, in-line
Alignment sensor: LSA / FIA
AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 5517C Laser
LSA Laser: 5 mW
NIKON OF Detection
Rack type: Right
Body-OP Rack cable: 3 m
Lamp power: 2 kW
SHRINC 3
VAX 4000/96
DAT Drive
CRT Monitor
Lens data
NIKON Hard Disk Drive (HDD)
1997 vintage.
NIKON NSR 2205 i12Dは半導体産業のパターン作成および製作のために使用される中間からハイエンドのウェーハステッパーです。12インチのフィールドサイズ、400mmウェーハハンドリング機能、355nmの波長で露出可能なリソグラフィー用の強力なツールです。i12イメージング性能の高い精度と解像度、および現在の業界標準を超えるハイフレームレート（HFR）機能を備えています。NIKON NSR-2205I12DにはBruker光源も内蔵されており、30mAの高いビーム電流でスキャン場の露出を可能にします。NSR-2205I 12Dは、今日の工場で開発されているデバイスの数と複雑さの増加に対応するように設計された、真のウェハレベルの露出システムです。12のフィールドサイズにより、切り替え時間の調整が短縮され、露出の均一性が向上します。また、モジュール化されたシステムアーキテクチャにより、ユーザーのニーズの変化に応じてモジュールまたはコンポーネントの追加または削除が可能になります。NSR-2205 I12 Dにそれを毎日の生産の適用のための強力な用具にさせる他の多くの特徴があります。高速デバイス露出のための高いフレームレートと、高効率の省エネオプションを提供します。NSR 2205 I 12 Dには、統合されたブリュカー光源と、可変ランプ電流制御および露出変調システムを備えた高度な露出制御モジュールを備えた高度な光源モジュールがあります。NSR-2205 I12Dには最高レベルの制御ソフトウェアとファームウェアが付属しており、ユーザーは露出ごとにパターンと露出パラメータを簡単に再プログラムすることができます。これに加えて、ユーザーは異なる露出または露出変調速度で5つの露出モードを選択することができます。さらに、レイスキャン補正レンズ、ライン露光光学、プレートゲートなどのパターンを含む、実装する光学系の広い範囲が付属しています。メンテナンス用に、NIKON NSR 2205 I 12 Dは、遠隔システムの監視と操作も提供しています。これにより、ユーザーはステータスと障害をリモートで監視できます。これは、生産環境で特に有用であり、生産性を向上させながらダウンタイムを最小限に抑えるのに役立ちます。結論として、NSR 2205 I12 Dは半導体産業のリソグラフィに最適なツールです。強力なイメージング、高速機能、モジュラー設計により、効率的な生産パターンのための強力なツールを提供します。さらに、統合されたBruker光源と幅広い光学系により、すべての露出を精度、信頼性、精度で達成することができます。
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