中古 NIKON NSR 2205 i12D #9180767 を販売中

ニコンNSR 2205 i12Dは、株式会社ニコンプレシジョンが製造する精密ウェーハステッパーです。この装置は、半導体生産のための正確で正確なフォトリソグラフィを実行するように設計されています。NIKON NSR-2205I12Dは、12インチ径のウェーハを処理するのに十分な広い視野を備えています。ステッパーは、高度な光学システム、モーションステージ、オートフォーカスユニット、コントローラ、カプセル化された精密ロボットマシンなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。高度な光学ツールは、NSR-2205I 12D 4kHz周波数で0。25umの分解能を達成することができます。また、1：1の数値開口を誇り、ステッパーに高いスループットを与えます。NSR-2205 I12Dは複数の露出モードが可能で、ユーザーはパターン要件に応じて最適な設定を選択できます。これにより、マシンはオーバーとアンダーサイズのトリミングを行うことができます。このマシンは、ポリシリコン、フォトレジスト、その他の材料などの異なる材料を区別することができ、ウェーハの欠陥を検出して修正することもできます。モーションステージはリニアモータアセットに基づいており、X、 Y、シータ軸の高速加速と高分解能が可能です。これは速いパターン作成、破片の修理およびトリミングのために有利です。オートフォーカスモデルは、ステッパーの最も重要な機能の1つであり、チップの各レイヤーに高品質のフォーカスを提供します。NSR 2205 I12 Dには、直感的で使いやすい操作を可能にするコントローラが装備されています。コントローラは、タスクを迅速に、正確に、そして簡単に完了するように設計されています。最大9,000個のデータセットを格納でき、便利なストレージとリコール情報を提供します。NSR-2205 I 12 Dはカプセル化された精密ロボティクス機器によって保護されており、加速度、減速、位置精度を制御し、一貫した高品質の結果を保証します。これにより、NIKON NSR-2205 I 12 Dは優れた機能、性能、信頼性で優れた結果をもたらします。