中古 NIKON NSR 2205 i12D #9096016 を販売中

NIKON NSR 2205 i12Dは、株式会社ニコンが開発した高性能ウエハステッパーです。半導体デバイス、センサ、ディスクリート部品のリソグラフィ製造用に設計された、最先端のウェーハステッピングシステムの1つです。この装置は、12インチ、5000ワット、UltraViolet （UV）レーザーとNIKON独自のi12D Spectral Beam Combining （SBC）技術を備えています。これにより、真のシングルビームフルチップ相互接続と優れたイメージング精度を実現します。このシステムは、高度で自動化された制御プロセスと統合されたEステージの二軸、モータースパナーステージ、高解像度チャンバー制御、および低ドリフト動作に基づいており、短いサイクル時間と均一なイメージングを保証します。NIKON独自のデュアルユニグライドマウントプラットフォームは、比較的広範囲のウェーハサイズを可能にするように設計されており、ウェーハワープを排除し、異なるウェーハサイズを迅速かつ正確にロードすることができます。NIKON NSR-2205I12Dは、強力なScriptControlプログラミングによる自動パターン生成を提供します。さらに、このユニットは、プログラムを迅速にカスタマイズし、生産性を最適化するために、特定のマシンやソフトウェアを直接制御することができます。パターンマッチング、オーバーラップ、複数の露出、ブラインドターンもサポートされており、生産効率と画質の向上を可能にします。NSR-2205I 12Dの優れたイメージング精度は、高性能200mm焦点距離レンズによるものです。オートフォーカスマシンは、広い温度範囲で正確な焦点範囲を維持し、温度が特定のポイントを下回ると、確実なパワーツールアラートが提供されます。このアセットの洗練されたハイブリッドプロジェクションオプティクスには、4-Dスキャナアクティブミラーモデルも組み込まれています。これにより、長時間の軌道誤差を最小限に抑え、画像の歪みを最小限に抑え、画質を向上させます。NIKON NSR-2205 I12 Dには、LAN接続、グラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）、 PCベースの遠隔操作プログラムも含まれています。これらの機能は、ユーザーに機器を完全に制御し、生産プロセスをより効率的かつ正確にするのに役立ちます。全体的に、NSR-2205I12Dは高度なリソグラフィ生産のための直感的で信頼性の高いウェーハステッパーであり、デバイス製造ニーズに最適です。その高性能な機能と洗練されたデザインは、複雑なリソグラフィ製造ニーズに最適です。