中古 NIKON NSR 2205 i12D #9092552 を販売中

NIKON NSR 2205 i12Dは、高精度パターニングシステムと優れた生産性を備えた先進的なウェーハステッパーです。NIKON NSR-2205I12Dは「トップダウン」と「アウトサイドゲート」のパターン技術を駆使した先進的なイメージングステッパーで、ICデバイスや回路基板など幅広い用途に最適です。このステッパーは、複数のフィールドサイズを備えており、超薄型グラ（UTG）や薄型ガラス（TG）から低照明基板まで幅広い基板をサポートしています。その可変的なスリット幅の生成機能は0。3 μ mまでライン幅および深さの高精度なパターンに加えて正確な露出を提供します。ウェーハステッパーには、2つのレンズと8つのミラーからなる高性能プロジェクション光学システムが装備されています。システムは速く、滑らかな動きおよび優秀な配置の正確さのために設計されています。また、デュアルフィールドパターニングを可能にし、単一フィールドテクニックに比べて時間と少ない操作を必要とします。NSR-2205I 12Dまた、パターニング性能サポートとFOUPハンドリングを備えた高度な制御システムと、最高のスループットを確保するための高速45nmスキャンステップを誇っています。また、基板の均一性の評価を簡単かつ信頼性の高いものにするためのパターンデータ視覚化も備えています。さらに、プリアライメント、アライメント、レビュー機能の包括的なスイートを提供しています。NIKON NSR-2205 I12 Dのさらなる特徴は、300mmステージ、160mmのロードフレームギャップ、1秒あたり15,000ステップの最大位置決め速度、± 1 μ mの最大精度です。ウェーハステッパーにはオートセンタリングも装備されており、被曝時に基板を常に正確に配置することができます。NSR 2205 I 12 Dは、幅広い生産要件に対応して設計されており、高精度パターニングの生産性、効率、精度を向上させます。このステッパーは、評価の高いデュアルフィールドパターニング能力を備えており、マイクロプロセッサからハードディスクドライブ、MEMS、 LED製造まで幅広いアプリケーションに最適です。