中古 NIKON NSR 2205 i12D #293606678 を販売中

ニコンNSR 2205 i12Dウェーハステッパーは、最高レベルの性能と信頼性を実現するために設計された高度なリソグラフィ装置です。このシステムは、独自のi-LineおよびDUV照明技術を使用して、ミッドフィールドの解像度、高スループット、および高精度を提供し、高度なウェーハ製造を実現します。ステッパーは、高分解能と高ダイナミックレンジの両方のイメージングを提供し、プロセス工程の全範囲にわたって最適なリソグラフィ性能を保証します。照明ユニットの設計は、IRレーザーとブロードバンド照明の両方を使用し、独自の検出器の設計により、露光光フラックスの全範囲にわたって均一な画像を提供します。特許取得済みのレーザー設計と特殊光学アプローチにより、DUVおよびi-Lineイメージングの波長誤差と焦点誤差を最小限に抑えます。ステッパーの統合設計により、完全に自動化されたウェーハステッピングプロセスが可能になります。CCD制御アーキテクチャは、i-Line 4クアドラント投影機を介してウェーハ変位を正確に制御し、高スループット動作を保証します。2つのコントローラ、統合されたEDBボード、および内蔵の補償ソフトウェアを使用することで、低粒子条件と高い追跡精度を保証します。ステッパーは、様々なパターンタイプの機能を備えた多目的設計により、さまざまなウェーハ材料や加工レシピと互換性があります。アバレーション補正を施した高効率レンズ設計と、エッジ配置精度を確保するために最適化された光フラックス制御アセットにより、ツール内でのI-Line処理を可能にします。さらに、このモデルは、オートフォーカスアルゴリズムで高密度、全場リソグラフィープロセスと高いアライメント精度をサポートすることができます。NIKON NSR-2205I12Dウェーハステッパーには、静電気防止技術、窒素注入、安全運転のためのインターロックなど、幅広い安全機能も搭載しています。内蔵の予測故障検出およびエンドストップ装置は、ステッパーとそのコンポーネントを潜在的な損傷から保護します。結論として、NSR-2205I 12Dウェーハステッパーは、高度なリソグラフィ性能、ハイダイナミックレンジ画像、および汎用性の高いパターンタイプの互換性を提供します。統合設計により、高スループット、低粒子動作、高アライメント精度を実現します。さらに、窒素注入や静電気防止技術を含むその安全機能は、システムとそのコンポーネントに追加の保護を提供します。