中古 NIKON NSR 2205 i12D #293601857 を販売中
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ID: 293601857
i-Line stepper
Resolution: 0.35 µm
UDOF: ≥ 0.6 µm
CD Uniformity: ≤ 50 nm
Focus calibration repeatability: 3 Sigma ≤ 0.1 µm
Lens distortion: Within ±50 nm
Maximum area: 22 x 22 mm
Reticle blind setting accuracy: 0.4 to 0.8 mm
Exposure power: ≥ 600 mW / cm²
Integrated exposure control: Within ±1%
Illumination uniformity: Within 1%
Reticle rotation: Within 20 nm
Absolute value
Repeatability
Overlay accuracy:
ISA-EGA: 3 Sigma ≤ 65 nm
FIA-EGA: 3 Sigma ≤ 65 nm
Array orthogonality: Within ±0.1 sec
Stepping precision: 3 Sigma ≤ 50 µm
Operational test: 99.5% Success rate
Wafer system: 100% Success rate
Reticle
Wafer pre alignment: 3 Sigma ≤ 15 µm
Focus stability: ≤ 0.6 µm
Magnification error: Within 15 nm
Stepping rate: 27 sec
Throughput:
ISA-EGA: 25 min 25 sec / less
FIA-EGA: 30 min 25 sec / less
INC: ±0.35 µm
Astigmatism total focus deviation 0.35 µm L and S: ≤ 0.3 µm
Field curvature: ≤ 0.3 µm
Chip leveling accuracy: Within ±1.5 sec.
NIKON NSR 2205 i12Dステップ装置は、高度な高解像度ウェーハステッパーのNIKONラインナップの最新製品です。これまでにないレベルの機能を提供するこのシステムは、高解像度のスループットと完全に統合された高精度のステッピングユニットを組み合わせています。高度なリソグラフィープロセス用に設計されたこのステッパーは、比類のない12インチスキャンアスペクト比(SAR)を備えており、最大5ミクロンの解像度で高い精度と再現性を備えたイメージングパターンを生成できます。NIKON NSR-2205I12Dステッピングマシンは、高精度レンズ、高度な光学系、高度な照明設計を組み込んだ高度なレンズ技術パッケージにより、優れた画像精度、再現性、スループットを提供します。高度な複合材料を使用することで、頑丈で反復可能なスキャンおよびウェーハ保持機能を提供し、さまざまなスキャンサイズで1時間あたり最大15,000の露出を高速に処理できます。さらに、NSR-2205I 12Dはユーザーを念頭に置いて設計されており、使用するための高度でフレンドリーなツールです。シンプルでユーザーフレンドリーなインターフェース資産と改善されたオペレータの人間工学により、ユーザーの生産性と使いやすさが向上します。NSR 2205 I12 Dは、高収量プロセスのニーズを念頭に置いて設計されています。高度なイメージング制御システムと最先端のリソグラフィープロセス制御技術を備えており、イメージングプロセスの効率的で費用対効果の高い管理を可能にします。NSR-2205I12Dには、Siウェーハなどの粗い表面を持つウェーハが適切に処理され、歩留まりを最大化する高度なウェーハ処理技術も搭載しています。また、高精度の計測システムが付属しており、リソグラフィープロセスを完全に制御できます。最後に、NIKON NSR 2205 I12 Dには、オートアライメント機能や幅広い基板や材料の加工能力など、さまざまな先進的な機能が搭載されており、トップエンドのウェーハ処理アプリケーションに最適です。全体として、NSR-2205 I12 Dは、リソグラフィー処理のスループットと精度を最大化するために探している人に最適な選択肢です。高度な機能と機能により、信頼性が高く正確で頑丈なモデルであり、ハイエンドスキャンのニーズに確実に対応します。
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