中古 NIKON NSR 2205 i12D #293600668 を販売中

NIKON NSR 2205 i12Dは、高度な半導体チップ製造プロセス向けに設計された高精度ウェーハステッパー装置です。ウェーハの処理精度とスループットを向上させるために設計されたさまざまな機能を提供し、複雑なパターンを柔軟に処理できます。NIKON NSR-2205I12Dは、時間の経過とともに最小限のドリフトで25nmのステップ精度を達成することができる自己調整電動ナノXモーションステージを備えています。このステージは、独自の両面スキャン装置と組み合わせて、高精度の半導体ウェーハの同時多層露出を可能にします。さらに、NSR-2205I 12Dは、さまざまな要件に合わせて3倍から10倍まで倍率を調整できるデュアルレンズプロジェクションシステムを備えています。NSR-2205 I 12 Dには、高度なチップ製造プロセスに適した他の多くの機能も組み込まれています。プロジェクションオプティクスやステージを高精度に動かす独自のエアベアリングユニットと、振動を最小限に抑える低ノイズスキャン加工ユニットを搭載しています。さらに、アクティブレベル補償機は、幅広い処理条件にわたって高精度を維持するのに役立ちます。トレーサビリティマネジメントツールは、すべてのウェーハが誤りなく追跡および記録されることを保証します。制御の面では、NIKON NSR 2205 I 12 Dは、セットアップ、操作、およびデータロギングを完全に制御するために、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を使用します。この直感的なアセットは、アライメントとミスアライメントの精度のチェック、データの相関とエラーのチェック、または高度な生産シナリオのオフラインプログラム文字列の作成に使用できます。このモデルはまた、デバッグ、シミュレーション、およびその他の目的で使用できる、画像キャプチャ用の独自のビューアツールソフトウェアも提供しています。全体として、NIKON NSR-2205I 12Dは、最も複雑なチップ生産プロセスに最適な印象的なウェーハステッパー装置です。その高度な機能と汎用性の高い操作は、現在利用可能な最も正確で信頼性の高いシステムの1つになります。