中古 NIKON NSR 2205 i12C #293817941 を販売中

NIKON NSR 2205 i12C
ID: 293817941
i-Line stepper Numerical Aperture (NA): 0.57 Resolution: 450 nm DCO: 55 Throughput (WPH): 70.
ニコンNSR 2205 i12Cは、次世代リソグラフィープロセス向けに設計されたウェーハステッパーです。このツールは、高度な光学と精密ウェーハムーブメントを備えており、0。10 μ mの高解像度で高解像度のリソグラフィを可能にするように設計されています。NIKON NSR-2205I12Cは高い精度を提供し、非常にタイトな線幅と間隔でウェーハ上のパターンを強化します。ステッパーには高速データ収集装置と高速スキャン速度が搭載されており、処理時間を大幅に短縮できます。NSR 2205 i12Cは、バックイルミネーションリソグラフィからフォトエレクトロニックイメージングまで、さまざまなプロセスに使用できます。ステッパーは集積回路(IC)リソグラフィープロセスを使用し、デバイスの歩留まりと信頼性を向上させます。Iライン照明システムを搭載し、ウェーハ全体に均一な照明を提供し、ウェーハのサイズに関係なく一貫した露出品質を確保します。NSR-2205I12Cはまた、正確なステッパー光学による歪みのない均一な露出フィールドを提供する特殊な光学モジュールを備えています。これにより、0。10 μ mまでの完全なステップアンドリピートパターニング機能が可能になります。さらに、ステッパーは、さまざまな種類の基板に対応するために、光学基盤、速度、加速を自動的に調整することができます。これにより、大型基板をスキャンしても優れた性能を発揮します。また、NIKON NSR 2205 i12Cウェーハステッパーには、ウェーハに機械的な損傷を与えずにベースに正確に配置する高精度の摩擦のないウェーハステージが装備されています。また、ウェーハ位置を最適化するための高精度なウェーハアライメントを備え、ウェーハ構造全体のプロセス精度と均一性を向上させます。最後に、NIKON NSR-2205I12Cはフルオートコントロールユニットを使用しており、ユーザーはツールを簡単に監視および制御することができます。ステッパーには、触覚エラーを排除する信頼性の高い機械が含まれており、生産を大幅にスピードアップしながら歩留まりを向上させることができます。NSR 2205 i12Cも信頼性が高く、寸法精度が最も重要な複雑なアプリケーションに最適です。
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