中古 NIKON NSR 2205 i12C #293794461 を販売中

NIKON NSR 2205 i12Cは、高解像度および高性能の半導体デバイス製造用に設計された高性能ウェーハステッパーです。高精度なアライメントと露出精度により、高い歩留まりと最小欠陥率を誇るニコンNSR-2205I12C。ステッパーは、メモリ、ロジック、BiCMOS、バイポーラ、および細かいラインパターニング要件に至るまで、さまざまなデバイスの種類の生産に利用されています。NSR 2205 i12Cは、最大限の精度を確保するために、自律パターン補正システムとセグメント化されたマスク画像再構築（SMIRTM）を備えています。アライメントシステムは、12カメラの電子オートフォーカスとビジョンパターン認識システムを利用しています。独自の内部レンズ構造により、多価色収差による歪みを最小限に抑え、高剛性構造により不要な振動を低減します。8要素の対物レンズを使用し、F4-F5.5を絞ります。ステッピングスキャナは、8チャンネルの光学系を介して8つの同時露出を可能にし、最大200mmの視野が使用可能です。最大25µmピッチのデバイスからのデータ入力は、最小限の充電で低ライティング電流で、イメージエディタを介して可能です。スキャナはまた、光学ステーションの非接触ホログラフィー自動校正を可能にします。NSR-2205I12Cはまた、直感的なユーザーインターフェイスを備えた最適化されたスキャナーコントロールパネルとともに、さまざまなレイヤーハンドリングとスタッキングオプションを誇っています。このソフトウェアは、3Dデータ表示からプリスキャンハードウェア診断まで、さまざまな機能を提供します。このデバイスは、ジョブ制御言語（JCL）やガーバーなどのさまざまな業界標準のサポートと、GDS II形式のサポートも備えています。ニコンNSR 2205 i12Cは、さまざまなデバイスから信頼性と費用対効果の高い歩留まりを提供するように設計されています。高性能で使いやすく、トップグレードの半導体製造に最適です。