中古 NIKON NSR 2205 i12C #293794198 を販売中
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NIKON NSR 2205 i12Cは、最高級のウェーハステッパーです。高度なプロセッサのための複雑な半導体パターンを作成するために使用される高度に自動化されたリソグラフィ装置です。このシステムは、高度なR&Dアプリケーション向けに特別に設計されており、生産を簡単にするための幅広い機能を備えています。ステッパーは13nmの小さい特徴のパターンを作成できます。このユニットは、最大直径8インチのウェーハで動作することができ、最大150mmの巨大なフィールドサイズを誇っています。アライメント精度は非常に高い基準で維持され、最大+/-0。5 μ mの精度を達成できます。NIKON NSR-2205I12Cには、生産効率を高めるための幅広いオプションも用意されています。NIKON独自の高度なレチクルをはじめ、幅広い露出設定に対応しています。また、ハイコントラストのカメラツールを搭載しており、露出レベルを正確に調整し、最高品質の画像を作成することができます。アセットには、さまざまな高度な制御機能もあります。これには、統合されたフラット化とスループット監視、および自動ウェーハのプリアラインおよびセカンダリスキャンが含まれ、すべてのウェーハがレチクルに正確にアライメントされるようにします。ステッパーはまた、照明、真空レベル、および大気が最適なパフォーマンスのために最適なレベルに保たれるようにするためのさまざまな機能を提供します。自動化された機能に加えて、NSR 2205 i12Cには、生産を非常に簡単にする直感的なユーザーインターフェイスも含まれています。これには、高度な機能を備えたアイコン駆動のコントロールパネルが含まれており、ユーザーはマニュアルを見ることなく効率的に生産を監視することができます。全体的NSR-2205I12Cは、幅広い機能を備えた例外的なウェーハステッパーです。正確なアライメント精度と便利な自動機能により、このモデルは高度な研究開発アプリケーションに最適です。
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