中古 NIKON NSR 2205 i12 #293606914 を販売中

NIKON NSR 2205 i12は、最高レベルの光学リソグラフィ性能をユーザーに提供するように設計された高精度の12インチウェーハステッパーです。このモデルは、UVベースのi-line光源と最大8 「x 10」のフィールドサイズを備えた半導体デバイス製造用に特別に設計されました。2205 i12は、H-APO（高精度パラレル光学）技術を活用し、高速かつ信頼性の高いアライメント性能を提供する高速、高精度のイメージング機器を備えています。これにより、最大0。2ミクロンの再現性で、ウェーハ表面にマスクパターンを正確に配置することができます。このウェーハステッパーは、単一の露光で上下の照明を提供する光学系や、イメージコントラストを調整してクリティカルな寸法変動を低減するためのステップ幅の照明など、特殊な照明機能を備えています。また、電磁干渉および振動レベルが低いため、アライメントおよびスキャン操作全体にわたって安定した信頼性の高いイメージングが可能です。このウェーハステッパーは、高度な自動適応機能を使用して、光/暗い位相とコントラストバランスを調整し、最適なイメージング結果を提供します。また、M-EMRS （Multi-Energy Mask Reference System）技術を使用して、より安定した露光条件でイメージング処理を改善します。NSR 2205 i12には、自動線量制御や高度なDENSバージョンモジュールなど、幅広いユニット機能があり、半導体デバイス製造プロセスのスループットを向上させます。さらに、繊細なエリアエッジへの意図しないダメージを防ぐことで、ワークを安全に保つ真新しいヘッドPI保護機を備えています。全体として、NIKON NSR 2205 i12は、優れた性能、操作の容易さ、およびプロセススループットの向上を提供する、汎用性と信頼性の高いウェーハステッパーです。幅広い先進的な半導体デバイス製造プロセスに最適なリソグラフィ性能をユーザーに提供するように設計されています。