中古 NIKON NSR 2205 i11D #9383687 を販売中

ニコンNSR 2205 i11Dは、フォトリソグラフィに使用される有名なウェーハステッパーです。半導体ファウンドリやマイクロファブリケーションに使用可能な最先端の生産ツールの1つです。このデバイスには、デュアルチャンバー設計と最先端の光学系が装備されており、1µmまでのハイエンド解像度を保証します。NIKON NSR-2205I11Dは、高度な自動アライメント機能を搭載し、高精度なウェーハ配置精度を実現しています。また、高速なウェーハ交換とオーバーレイエラーの最小化を可能にします。さらに、このツールには周囲補償機能があり、変化する環境でのリソグラフィ性能の安定化に役立ちます。このデバイスには、フルフィールド精度を提供するインライン広範囲レーザー干渉計が装備されています。また、マイクロピクセルアドレッサブルモニタが含まれており、時間の経過とともにパターン結果の変化を診断および監視できます。このデバイスはまた、複数のレチクルを実行することができ、単層および二層プロセスの両方の実行に使用することができます。デバイスのLEDにはフォーカシングリングが装備されており、その照度は均質な照明のために0。25 mW/cm2に調整可能です。この軽いエンジンは、優れた均一性と5µmまでの小さなフィールドサイズを提供します。光源はターゲットエネルギーの± 0。6％以内で動作するため、パターニングエラーを最小限に抑え、垂直ステップ高さエラーのリスクを排除できます。NSR 2205I11Dは、最新のESEDRF （Enhanced Spectrum Emission Diffraction Reduction Filter）技術を使用しており、画質の向上と焦点深度の向上を実現しています。このデバイスはまた、フィールドの同じ方向と深さで転送パターンを再現するのに役立つユニークなクロスフィールド補正ソフトウェアを採用しています。全体として、NSR 2205 I11 Dは高度で強力なウェーハステッパーであり、電気およびオプトエレクトロニック集積回路の生産に最適です。それは最も要求の厳しいリソグラフィおよび微細加工の条件のための完全な選択です。