中古 NIKON NSR 2205 i11D #9379192 を販売中

NIKON NSR 2205 i11D
ID: 9379192
Stepper.
ニコンNSR 2205 i11Dは、フォトリソグラフィ用に設計された最先端のウェーハステッパーです。この機器は、ステップアンドリピートプロセスでマスキングおよびエッチング操作を実行するように便利に構成されています。ステッパーは200mmと300mmの両方の基板を扱うことができ、さまざまなアプリケーションに非常に汎用性があります。NIKON NSR-2205I11Dは、高い数値絞りを含む高度な光学系を駆使し、優れた解像度を提供します。また、独自のアライメントユニットを採用し、照明の再現性を最適化しています。小さい特徴の正確な露出を可能にする数値の開口の選択の広い範囲がある。機械は0。30から0。75 μ mまで及ぶ露出を扱うことができます。NSR 2205I11Dは自動化されたステージツールを備えており、オペレータは最大25の異なる位置をプログラムすることができます。これにより、オペレータは「ベクトルマッチング」または「自動測定」関数を使用して基板アライメントを迅速かつ正確に調整できます。また、ステッパーは、高精度と再現性のための2次元ムーブメント制御が付属しています。NSR 2205 i11Dの光学資産は、コリメータ、プリズム、五角形ミラー、円筒形レンズモデル(CLS)などのさまざまなアクティブ部品で構築されています。これらの要素はすべて、パフォーマンスを最適化し、優れた画質を提供するように設計されています。これらの部品により、装置は0。27 μ mまで分解能を作り出すことができます。NSR 2205 I 11 Dは、高度な技術で設計され、高品位のコンポーネントで構築された堅牢なシステムです。ユニットは安全で柔軟性があり、幅広いプロセスアプリケーションが利用可能です。優れた汎用性、ダイナミックな露出制御、高解像度を備えたこのウェーハステッパーは、幅広いフォトリソグラフィーニーズに最適です。
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