中古 NIKON NSR 2205 i11D #9364624 を販売中

NIKON NSR 2205 i11Dウェーハステッパーは、半導体業界に幅広い機能を提供する精密ウェーハステッパーです。ステッパーは200mm〜300mmの12インチ自動ウェーハサイズで、最大ウェーハ厚は0。3mm、重複は0。25mmです。この装置は、ストッカーに統合された電動N2/O2発電機を備えた高解像度ビジョンを備えており、空気軸受ステージを備えています。このシステムはまた、マルチ設計アプリケーションを処理する能力を持っており、ウェーハに適用されるN2/O2保護、加熱機能、およびレーザーマークが含まれています。NIKON NSR-2205I11D Wafer Stepperは、デュアルCCDカメラにより、優れた画像ピックアップ精度と高解像度画像処理機能を提供します。独自の画像ピックアップユニットは、2台の2048 x 2048ピクセルCCDカメラを使用して、優れたコントラスト、比色精度、および0。2マイクロメートル以上の解像度を実現しています。また、ウェーハの前面と背面の両方を同時にイメージできるように、回転回転を可能にします。NSR 2205I11Dウェーハステッパーには、高精度アライメントマシンも付属しています。このツールは、デュアルカメラ資産の5つの光学マーカーに合計8の登録を持ち、1mmの登録ポイントから0。11マイクロメートルの精度を持っています。このモデルはまた、異なるフィールドサイズにわたって正確な測定を保証する独自の光学設計を備えています。NIKON NSR-2205 I 11 Dウェーハステッパーには、高精度露光装置もあります。このシステムは高性能シャッター/検出器のメカニズムを備えており、露光照射の適切な均一性と層の厚さの均一性を確保するために革新的な照明技術を組み込んでいます。このユニットはまた、最大の画像精度を保証する長寿命シャッターを提供します。NSR-2205 I 11 Dウェーハステッパーには、高精度のプロジェクションマシンも含まれています。このツールには、5ゾーンの照明ミラーが装備されており、0。6から0。9までの5つの異なる数値開口を可能にします。このアセットは、正確なフォーカスと乱視補償のためのサブミクロン分解能を備えた3軸すべての微調整を含む6軸の調整を備えています。NSR 2205I 11D Wafer Stepperは、優れた画像ピックアップ、ウェーハアライメント、露出、投影機能を提供する高精度モデルです。超薄型基板上のミクロンレベルパターンの生産に最適で、高度な半導体デバイスや部品の効率的な生産を可能にします。